میله های SiC رشته ای هیتر المنت حرارتی SiC

میله های SiC Heater Heater SiC نشان دهنده اوج فناوری گرمایش است که به دقت مهندسی شده است تا نیازهای دقیق فرآیند ساخت نیمه هادی ها را برآورده کند. این عنصر حرارتی نوآورانه خواص حرارتی استثنایی گرافیت را با ویژگی‌های عملکرد بالا پوشش کاربید سیلیکون (SiC) ترکیب می‌کند و در نتیجه ابزاری ضروری برای تولید دقیق و کارآمد نیمه‌رسانا است.

برنامه های کاربردی:

میله های رشته ای Heater Heater Semicorex SiC SiC در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی ها کاربرد ضروری پیدا می کند:

رسوب بخار شیمیایی (CVD): امکان رسوب کنترل شده لایه های نازک بر روی بسترها که برای ایجاد الگوهای مدار پیچیده و ساختار دستگاه حیاتی است.

بازپخت و انتشار: تسهیل عملیات حرارتی کنترل شده برای افزایش خواص مواد و ایجاد پروفایل های دوپینگ دقیق در زیرلایه های نیمه هادی.

اکسیداسیون و اچینگ: پشتیبانی از فرآیندهای اکسیداسیون و اچ کنترل شده که برای جداسازی دستگاه، تشکیل اتصالات و اصلاح سطح ضروری است.

رشد کریستالی: فراهم کردن محیط گرمایی ایده آل برای رشد همپایه، که منجر به تشکیل لایه های کریستالی با کیفیت بالا با جهت گیری های کریستالی مشخص می شود.