لوله اکسیداسیون SIC

لوله اکسیداسیون SIC Semicorex از سرامیک کاربید سیلیکون با خلوص بالا ساخته شده برای اکسیداسیون ، انتشار یا فرآیندهای بازپرداخت که به طور معمول در دمای 1600 درجه سانتیگراد انجام می شود ، ساخته شده است. به عنوان بخشی از یک کوره SIC ، افقی یا عمودی ، این محیط کنترل شده است که ویفرها هنگام اکسیداسیون در آن گرم می شوند. عملکرد لوله اکسیداسیون فراهم کردن یک محیط تمیز ، یکنواخت و پایدار برای درمان حرارتی ویفرهای کاربید سیلیکون (SIC) در ساخت دستگاه های برق و نیمه هادی های باند گسترده ، به عنوان دیافراگم فرآیند اکسیداسیون بالقوه ثابت ، لوله اکسیداسیون به عنوان یک هدف قابل مصرف برای استفاده اول عمل می کند. در حالی که لوله های کوارتز و آلومینا غالباً با گذشت زمان از طریق انحطاط ، پیچ و خم شدن یا تجزیه شیمیایی در حال شکستن هستند ، کاربید سیلیکون دوام استثنایی در برابر چالش های شوک حرارتی ، تقویت خاصیت مکانیکی و عدم تحرک شیمیایی دارد. این عوامل کاربید سیلیکون را به عنوان گزینه ای عالی برای لوله های اکسیداسیون در محیط های با قابلیت اطمینان بالا و با توان بالا به کار می برند.

Hemicorex با استفاده از اشکال پیشرفته شکل گیری مانند فشار ایزوستاتیک سرد و پخت و پز بدون فشار (یا تبلور مجدد) ، لوله های اکسیداسیون SIC تولید می کند که دارای ریزساختار متراکم ، محکم و همگن هستند. این امر بدون خطر تخلخل قدرت را فراهم می کند و به روند اکسیداسیون اجازه می دهد بدون آلودگی ادامه یابد. SIC دارای هدایت حرارتی بسیار بالایی است و امکان توزیع حرارتی یکنواخت در منطقه بار ویفر را فراهم می کند و در نتیجه شیب های حرارتی را کاهش می دهد که می تواند باعث ویفر یا نقص شود. مقاومت لوله در برابر اسیدها ، پایه ها و گازهای واکنشی مانع از تعامل شیمیایی ناخواسته با سطح ویفر و از طریق محیط کوره نیز می شود.

خزش نمی کند ، تغییر شکل نمی یابد. این لوله پس از چندین چرخه تولید لازم نیست-محیط های دوچرخه سواری حرارتی طولانی مدت است که در غیر این صورت مواد کمتری را از بین می برد. بنابراین ، هیچگونه وقفه فرکانس بالا به معنای هزینه کم کار نیست و این باعث می شود جریان فرایند بدون هیچ گونه اختلال باشد. این همچنین خطرات آلودگی را کاهش می دهد که به راحتی می تواند عملکرد عملکرد را در دستگاه های نیمه هادی نسل بعدی که در آن ناخالصی های ردیابی نقش مهمی دارند ، کاهش دهند. Semicorex ابعاد لوله استاندارد و کاملاً سفارشی را برای هر سکوی کوره و دستور العمل مورد استفاده تولید می کند. قطر داخلی و بیرونی ، طول ، ضخامت دیواره و سطح سطح همه پارامترهایی هستند که ممکن است برای رفع نیازهای مختلف حرارتی و مکانیکی خاص نیاز به تنظیم داشته باشند. از کوره های تحقیق و توسعه در مقیاس آزمایشگاهی تا خطوط تولید بزرگ-در هر مورد که لوله برای تضمین عملکرد به ماشینکاری ، تمیز کردن و بازرسی نیاز دارد.

کنترل کیفیت با بررسی های بعدی ، آزمایش چگالی مواد و اعتبار سنجی قابلیت اطمینان چرخه حرارتی برای هر لوله اکسیداسیون SIC شروع می شود. یک سیستم قابل ردیابی مواد قوی محصول را از مرحله پودر خام خود تا بازرسی نهایی وارد می کند. این نوع کیفیت در پایداری طولانی مدت و تکرارپذیری لوله های اکسیداسیون SIC ما به مشتریان می دهد.

Semicorex را انتخاب کنید ، و در یک تأمین کننده شریک زندگی خود را با همكاری كننده سرامیک پیشرفته با كنترل فرایند گسترده و پشتیبانی فنی پاسخگو با همکاری با هم از همان ابتدا بدست آورید. ما در مورد محیط خاص کوره ، نیازهای فرآیند و چالش های ادغام شما می آموزیم تا بتوانیم راه حل های سفارشی را برای بهبود نتایج فرآیند و همچنین به روزرسانی ابزار ارائه دهیم.

لوله اکسیداسیون Semicorex بهترین عملکرد حرارتی ممکن را با ثبات شیمیایی و استحکام مکانیکی ارائه می دهد. این کشور با فراهم کردن یک محیط حرارتی یکنواخت در هنگام اکسیداسیون و بازپرداخت مواد نیمه هادی پیشرفته ، قلب هر سیستم پردازش SIC با درجه حرارت بالا می شود. برای تولیدکنندگانی که به اجزای کوره نیاز دارند قابل اعتماد ، تمیز و ماندگار باشند ، نیمه نیمه یک انتخاب محصول خواهد بود که توسط دانش و تجربه و همچنین استاندارد ارائه چیزی کوتاه از بهترین ها پشتیبانی می شود.