لوله های

لوله های SIC Semicorex قطعات سرامیکی برای سیستم های کوره نیمه هادی هستند.  آنها از خواص منحصر به فردی برخوردار هستند که شامل انتقال حرارتی بالا و مقاومت در برابر دمای بالا و شیمیایی است که در برنامه های نیمه هادی که در آن شرایط محیطی با دمای بالا و شیمیایی شدید وجود دارد که انتظار می رود و در جایی که خواص مطلوب ، راندمان انرژی و شرایط فرآیند پایدار بی نظیر است - استفاده می کند تا در محیط های تولیدی پیشرفته پیشرفته باشد.

لوله های Semicorex SIC از یک دانه ریز با خلوص بالا استفاده می کنندکاربید سیلیکوناین تولید شده است که به عنوان یک نتیجه از روش ها و تکنیک های پیشرفته پخت و برگشت و تبلور مجدد ، ثبات مکانیکی با درجه حرارت بالا استثنایی دارد. فعال سازی SIC با کارایی بالا منجر به استحکام مکانیکی استثنایی و حفظ پایداری حرارتی در دماهای کار بالا می شود. SIC سختی استثنایی دارد که سایش را کاهش می دهد ، یا تغییر شکل احتمالی.  علاوه بر این ، ویژگی های مرتبط با خصوصیات SIC ، همبستگی کم سوخت حرارتی مفید است زیرا تنش حرارتی را محدود می کنند زیرا برای دوچرخه سواری این ماده بین گرمای بسیار زیاد و کم کار وجود خواهد داشت. در تمام این ملاحظات ، آنها یک ابزار ویژه برای کاربردهای ایده آل در کوره های انتشار ، کوره های اکسیداسیون و سیستم های LPCVD/PECVD برای حفظ حداکثر شرایط فرآیند پایدار برای از بین بردن یا محدود کردن نقص های مربوط به معیارهای مربوط به ویفر یا مواد با شرایط بسیار پایدار و حتی فرآیند دارند.

یکی دیگر از کاربردهای مهم لوله های SIC ، پروفایل های هدایت حرارتی بالا در شرایط خاص و طرح های کوره ای قابل استفاده برای تولید میزان بالایی از رسانا و به طور مهم ، توزیع یکنواخت و پایدار دما در طول فرآیند است.  این رفتار قابل اعتماد باعث می شود ویفرها در فواصل زمانی معقول در معرض توزیع دمای نیمه برابر قرار بگیرند و علاوه بر این ، شیب های حرارتی را برای کاهش ویفرهای تحریف شده و/یا نقص در ضمن بهبود شرایط حتی بیشتر رسوب فیلم کاهش دهند.

ثبات و مقاومت شیمیایی یکی دیگر از عوامل مهم عملکرد است.  در فرآیندهای نیمه هادی ، لوله کوره در معرض تأثیر گازهای بسیار واکنش پذیر از جمله اکسیژن ، هیدروژن ، آمونیاک و کلیه هالوژن ها قرار می گیرد که می توانند مواد معمولی را با روشی سریع تخریب کنند. ریزساختار متراکم و غیر متراکم ، همراه با ماهیت شیمیایی بی اثر SIC ، ضمن ارائه عملکرد عملیاتی و مکانیکی در محیط فرآیند شدید ، آن را در برابر اکسیداسیون و خوردگی محافظت می کند.  دوام کوره های SIC به آنها کمک می کند تا یکپارچگی فرم و دقت بعدی را در مدت زمان طولانی حفظ کنند ، که برای کنترل فرآیند و ثبات مهم است.

لوله های SIC را می توان در طیف گسترده ای از اندازه ها و ضخامت های دیواره ، از نظر هندسی برای متناسب با طرح های کوره و نیازهای فرآیند تولید کرد.  خصوصیات دقیق ماشینکاری دقیق نیز در طول طراحی و تولید لوله های SIC حفظ می شود تا تحمل عملیاتی بتواند محکم باشد ، با سطوح داخلی صاف و غلظت عالی برای حفظ تعادل جریان گاز لمینار و پروفایل های حرارتی یکنواخت. صیقل دادن و پوشش های سطح می تواند به عنوان گزینه های درمانی ارائه شود که عملکرد را با کاهش تولید ذرات و بهبود مقاومت در برابر خوردگی تقویت می کند.

لوله های SIC در مقایسه با مواد جایگزین مانند کوارتز یا لوله های آلومینا از مزایای عملیاتی و هزینه ای روشنی برخوردار هستند.  هزینه اولیه برای اجزای SIC ممکن است کمی بیشتر باشد ، اما عمر محصول ، کاهش شکستگی و نیازهای پایین تر نگهداری منجر به هزینه کل مالکیت می شود که هزینه های کمتری نسبت به مواد و لوله های جایگزین است.

برای نتیجه گیری ، Semicorexباکرهلوله ها بهترین گزینه برای برنامه های کوره نیمه هادی هستند ، زیرا آنها بهترین عملکرد حرارتی ، استحکام مکانیکی ، مقاومت شیمیایی و قابلیت اطمینان برای نیاز به محیط تولید را ارائه می دهند. این ماده ثبات فرآیند را بهبود می بخشد و در صرفه جویی در هزینه و کارآیی هزینه های پایین جاده (یعنی مصرف انرژی کمتری) کمک می کند. لوله های SIC یک ماده اساسی برای ساخت نیمه هادی مدرن است.