بازوی ربات Semicorex SiC یک بازوی روباتیک سرامیکی کاربید سیلیکون با کارایی بالا است که برای دقت و دوام در فرآیندهای تولید نیمه هادی طراحی شده است. Semicorex را برای تخصص ما در ارائه راه حل های نوآورانه، قابل اعتماد و با کیفیت بالا متناسب با نیازهای صنعت نیمه هادی انتخاب کنید.*
بازوی ربات Semicorex SiC یک پیشرو استسرامیک سیلیکون کاربیدبازوی رباتیک طراحی شده برای پاسخگویی به نیازهای سختگیرانه تولید نیمه هادی. این بازوی رباتیک با بهره گیری از خواص استثنایی کاربید سیلیکون، عملکرد بی نظیری را در حمل و نقل دقیق، پایداری در دمای بالا و مقاومت شیمیایی ارائه می دهد و آن را به یک دارایی ضروری برای فرآیندهای نیمه هادی پیشرفته تبدیل می کند.
تولید شده از خلوص بالاسرامیک سیلیکون کاربیدبازوی ربات SiC دارای استحکام مکانیکی قابل توجه و هدایت حرارتی عالی است. ترکیب مواد منحصر به فرد آن عملکرد فوق العاده را در شرایط سخت، مانند دماهای شدید و قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی خورنده تضمین می کند، در حالی که استانداردهای عملیاتی فوق العاده تمیز را حفظ می کند. بر خلاف مواد معمولی مانند فولاد ضد زنگ یا آلومینیوم، کاربید سیلیکون سختی فوق العاده ای را ارائه می دهد و حداقل تغییر شکل را حتی تحت فشار مکانیکی تضمین می کند. این ویژگی در حفظ دقت و پایداری مورد نیاز در تولید نیمه هادی حیاتی است.
پایداری حرارتی پیشرفته بازوی ربات SiC به آن اجازه می دهد تا در محیط های با دمای بالا به طور قابل اعتماد عمل کند. در برابر انبساط حرارتی مقاومت می کند و یکپارچگی ابعادی را حفظ می کند و آن را برای فرآیندهای حرارتی مانند بازپخت، اکسیداسیون و انتشار ایده آل می کند. علاوه بر این، بی اثری شیمیایی بازو تضمین میکند که میتواند در محیطهای حکاکی پلاسما و رسوب بخار شیمیایی (CVD) عمل کند، جایی که قرار گرفتن در معرض گازها و مایعات تهاجمی معمول است. این ویژگیها به طولانیتر شدن عمر سرویس و کاهش هزینههای تعمیر و نگهداری کمک میکنند که به راندمان عملیاتی بالاتر ترجمه میشود.
در محیط های اتاق تمیز، حفظ تولید ذرات کم ضروری است. بازوی ربات SiC با سطح متراکم و غیر واکنشی خود که ریزش ذرات را به حداقل می رساند، این نیاز را برآورده می کند. این ویژگی تمیزی فرآیند نیمه هادی را تضمین می کند و خطر آلودگی را کاهش می دهد، که برای دستیابی به بازده تولید بالا و به حداقل رساندن عیوب حیاتی است. علاوه بر این، ماهیت سبک وزن کاربید سیلیکون فشار وارده بر سیستم های روباتیک را کاهش می دهد و باعث افزایش بهره وری انرژی و طول عمر کلی سیستم می شود.
کاربردها در فرآیندهای نیمه هادی
بازوی ربات SiC یک ابزار ضروری در مراحل مختلف ساخت نیمه هادی است. در جابجایی ویفر، انتقال ایمن و دقیق ویفرهای سیلیکونی بین ایستگاه های پردازش را تضمین می کند و خطر آسیب مکانیکی و آلودگی را کاهش می دهد. مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی آن را برای حکاکی پلاسما و فرآیندهای رسوب بخار شیمیایی ضروری می کند، جایی که علیرغم قرار گرفتن در معرض شرایط سخت، عملکرد خود را حفظ می کند. در طی فرآیندهای حرارتی مانند بازپخت یا اکسیداسیون، بازو یکپارچگی ساختاری و عملکرد دقیق خود را حفظ میکند و نتایج ثابت و قابل اعتمادی را تضمین میکند. علاوه بر این، دقت و پایداری بالای آن برای کاربردهای بازرسی و اندازهشناسی ایدهآل است، جایی که موقعیتیابی دقیق بسیار مهم است.
Semicorex تضمین می کند که هر بازوی ربات SiC به دقت ساخته شده است تا نیازهای سخت صنعت نیمه هادی ها را برآورده کند. این محصول در پیکربندی های قابل تنظیم برای مطابقت با نیازهای فرآیند خاص موجود است. ابعاد سفارشی، تکمیل سطوح پیشرفته و گزینههای یکپارچهسازی با سیستمهای روباتیک موجود تنها برخی از ویژگیهای سفارشیسازی ارائه شده است که امکان پذیرش بدون درز در خطوط تولید نیمهرساناهای مختلف را فراهم میکند.
انتخاب بازوی ربات SiC به معنای سرمایه گذاری روی محصولی است که کیفیت، دوام و دقت را در بر می گیرد. در Semicorex، ما به ارائه راه حل های نوآورانه با پشتوانه سال ها تخصص در تولید مواد نیمه هادی افتخار می کنیم. تعهد ما به تعالی تضمین می کند که محصولات ما کارایی فرآیند، قابلیت اطمینان و بازده را در صنعت نیمه هادی در حال تکامل افزایش می دهند.
در نتیجه، بازوی ربات SiC چیزی بیش از یک جزء است. این سنگ بنای ساخت نیمه هادی های پیشرفته است. طراحی قوی، خواص مواد برتر و عملکرد دقیق، آن را به یک مکمل حیاتی برای هر خط تولیدی با هدف دستیابی به برتری در کارایی و کیفیت تبدیل کرده است.