دست های ربات sic

Hands Robot Semicorex SIC جدیدترین در اثر نهایی است که برای برنامه های انتقال ویفر روباتیک در زمینه تولید نیمه هادی طراحی شده است. ساخته شده با مواد با کارایی بالا ، ما این دست های رباتیک را با سرامیک های کاربید سیلیکون (SIC) مهندسی کردیم تا حداکثر جدول بندی حرارتی ، پایداری شیمیایی و استحکام مکانیکی برای یک محیط فزاینده سخت از ساخت ویفر یا دست زدن به آن فراهم شود.

اصلی برای دست های ربات SIC ما پیشرفته اختصاصی ما استکاربید سیلیکونشناخته شده به سختی (MOHS 9) ، هدایت حرارتی بالا و مقاومت در برابر خوردگی. بر خلاف مواد سنتی مانند آلومینیوم یا فولاد ضد زنگ ، SIC با محیط پردازش سخت اتاقهای نیمه هادی از جمله دمای بالا فرآوری شده و گازهای واکنش پذیر سازگار است. ما دوام طولانی مدت را ارائه می دهیم و آلودگی را به حداقل می رسانیم ، مطابق با خلوص دقیق مورد نیاز برای تولید ویفر.

تجهیزات نیمه هادی با دست ربات SIC از مکش فشار منفی برای به دست آوردن ویفر استفاده می کند ، یعنی ویفر نیمه هادی با استفاده از اصل جام مکش به ترتیب حمل و نقل با استفاده از یک بازوی عملکرد مکانیکی که به ترتیب گسترش ، چرخش و بلند کردن حرکت می کند ، روی کوارتز یا انگشت سرامیکی جذب می شود.

"سرعت بالا" و "پاکیزگی" ویژگی های اصلی تجهیزات حمل و نقل ویفر نیمه هادی است. برای تحقق این خصوصیات ، تجهیزات نیازهای بسیار دقیق در مورد عملکرد اجزای مورد استفاده دارند. از آنجا که بیشتر فرآیندها در محیط خلاء ، درجه حرارت بالا و محیط گاز خورنده انجام می شود ، بازوی جابجایی مورد استفاده در تجهیزات باید دارای خصوصیات بدنی عالی باشد ، مانند: استحکام مکانیکی بالا ، مقاومت در برابر خوردگی ، مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت در برابر سایش ، سختی بالا ، عایق و غیره و مواد سرامیکی پیشرفته فقط می توانند این شرایط را برآورده کنند.

سرامیک کاربید سیلیکوناز خصوصیات فیزیکی بافت متراکم ، سختی زیاد ، مقاومت در برابر سایش زیاد و همچنین مقاومت در برابر حرارت خوب ، استحکام مکانیکی عالی ، عایق خوب در محیط با درجه حرارت بالا ، مقاومت در برابر خوردگی خوب و سایر خصوصیات بدنی برخوردار است. این یک ماده عالی برای ساخت تجهیزات نیمه هادی است که اسلحه را کنترل می کند.

با درک اینکه سیستم عامل های روباتیک در بین Fabs و تولید کنندگان ابزار متفاوت است ، دست های Robot Sic ما در طیف وسیعی از اندازه های استاندارد در دسترس هستند و می توانند برای تنظیمات ابزار منحصر به فرد سفارشی شوند. رابط های نصب ، هندسه های انگشت و ویژگی های پشتیبانی ویفر می توانند برای رفع تجهیزات خاص و نیازهای فرآیند تنظیم شوند. این که آیا شما در حال انتقال ویفرها در ابزارهای خوشه ای ، اتاق های خلاء یا سیستم های FOUP هستید ، دست های ربات ما یکپارچه با مارک های پیشرو در روباتیک ادغام می شوند.

هر دست ربات SIC برای اطمینان از رعایت استانداردهای اتاق تمیز کلاس 1 ، روشهای تمیز ، بازرسی و بسته بندی دقیق را انجام می دهد. سطح غیر متخلخل ، ضد استاتیک SIC باعث کاهش چسبندگی ذرات می شود ، در حالی که ساختار قوی در برابر ریزگردها مقاومت می کند که می تواند به مرور زمان منجر به تولید ذرات شود. این امر آنها را برای فرآیندهای ویفر جلویی که حتی کوچکترین آلودگی می تواند منجر به خرابی دستگاه شود ، ایده آل می کند.

از کاشت اپیتاکسی و یون گرفته تا PVD ، CVD و CMP ، دست های ربات SIC در هر مرحله از ساخت دستگاه نیمه هادی اعتماد دارند. مقاومت برتر آنها در برابر شوک حرارتی و محیط های پلاسما باعث می شود که آنها در خطوط نیمه هادی منطق و قدرت پیشرفته ، به ویژه در مواردی که از بسترهای ویفر SIC استفاده می شود ، ضروری باشد.