لوله های

لوله های SIC Semicorex (لوله های کوره SIC) به دلیل پایداری حرارتی ایده آل ، استحکام مکانیکی و مقاومت شدید در برابر مواد شیمیایی پرخاشگرانه در طیف وسیعی از برنامه ها ، به شدت در صنعت نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرند. لوله های SIC Semicorex برای زنده ماندن از سخت ترین شرایط مرتبط با پردازش درجه حرارت بالا طراحی شده اند. لوله های SIC به وضوح یک ماده ارجح و برتر برای کوره های انتشار ، سیستم های LPCVD/PECVD و در محیط هایی هستند که برای رشد اپیتاکسیال استفاده می شوند که در آن آلودگی مواد و دیفرانسیل حرارتی ملاحظات کلیدی هستند.

لوله های SIC Semicorex از پودرهای SIC با خلوص فوق العاده بالا با استفاده از روشهای پیشرفته پخت و پز و تکنیک های کنترل فرآیند تولید می شوند که خلوص SIC را حفظ می کنند. نتیجه این است که لوله های SIC دارای هدایت حرارتی بهینه ، خصوصیات انبساط حرارتی کم و دارای وزن در طول لوله توزیع شده اند ، به طور موثری استرس حرارتی را به حداقل می رساند ، حتی در هنگام قرار گرفتن در معرض دوچرخه سواری سریع. بنابراین ، استفاده از لوله های SIC باعث ایجاد احترام بالا در طی فرآیندهای درجه حرارت بالا (حداکثر 1600 درجه سانتیگراد) می شود-در نتیجه اطمینان از یکنواختی در فرآیندهای تولید نیمه هادی ، باعث افزایش کارایی کلی در مقیاس های سازگار می شود.

مزیت اصلی SIC ، این است که از نظر شیمیایی بی اثر است. SIC تقریباً غیر متخلخل است (مطابق با درجه بندی ASTM-G654 GP-4) و در هنگام مقاومت به گازهای خورنده مقاومت و مواد شیمیایی واکنشی مورد استفاده در توسعه نیمه هادی از جمله HCL ، NH₃ ، SIH₄ و غیره بی نظیر نیست. پایداری بعدی و افزایش زمان سرویس در حالی که به حداقل می رسد کندی توان را در رابطه با تغییرات و تعویض لوله به حداقل می رساند. مزایای اصلی تولید نیمه هادی مشخص است. استفاده از لوله های SIC می تواند هزینه کل مالکیت را در هفته ها یا حتی ماه ها کاهش دهد و در عین حال قابلیت اطمینان را در رابطه با فرآیندهای صنعتی حفظ کند.

لوله های Semicorex SIC در بسیاری از قطرهای ، طول و مشخصات سفارشی برای قرار دادن طرح های مختلف کوره و الزامات پردازش وجود دارد. سطوح داخلی را می توان صیقل داد ، که باعث بهبود پاکیزگی می شود ، تولید ذرات را کاهش می دهد و جزئیات مهمی در فضاهای نیمه هادی فوق العاده تمیز است. استفاده از لوله های SIC Semicorex می تواند به کاهش خطر آلودگی کمک کند و به افزایش بازده ویفر با تحمل های محکم و بهبود کیفیت سطح کمک می کند.

تخصص SIC Semicorex شامل سالها پردازش کاربید سیلیکون با تمرکز بر مهندسی دقیق و کنترل کیفیت برای رعایت استانداردهای کیفیت دقیق و خواستار صنعت نیمه هادی است. لوله های ما با بازرسی ها مورد آزمایش و تأیید قرار می گیرند ، که برای اطمینان از خلوص ، چگالی و انجام در شدیدترین محیط های حرارتی بسیار مهم هستند. Semicorex همچنین پشتیبانی فنی و گزینه های طراحی سفارشی را برای کمک به بهینه سازی سیستم کوره برای برنامه های خاص ارائه می دهد.

این که آیا تراشه های منطق تولید ، دستگاه های برق یا نوری ، لوله های Semicorex SIC گزینه ای قابل اعتماد و بادوام برای پردازش درجه حرارت بالا دارند. با انتخاب Hemicorex ، شما نه تنها از کارآیی بلکه یک فرآیند پایدار و کارآمد برای ساخت نیمه هادی اطمینان می دهید.