قایق های عمودی sic

قایق های عمودی Semicorex SIC حامل های ویفر مهندسی شده ، طراحی و ساخته شده برای تأمین بالاترین پایداری حرارتی ، مکانیکی و شیمیایی برای پردازش نیمه هادی کوره عمودی. ساخته شده از خلوص بالاکاربید سیلیکون، ما معتقدیم که آنها بهترین تعادل استحکام ، دوام و پاکیزگی برای پردازش حرارتی بسیار پیشرفته ویفر هستند که به عنوان اکسیداسیون ، انتشار ، LPCVD و بازپخت در سیستم های کوره عمودی ذکر می شوند.

محیط های پردازش کوره عمودی به یک سیستم پشتیبانی ویفر نیاز دارند که می تواند در برابر مواجهه مکرر در دمای بالا مقاومت کند ، اغلب بیش از 1200 درجه سانتیگراد است و بدون مشکلات آلودگی از نظر ابعادی پایدار باقی می ماند. قایق های عمودی SIC به دلیل خاصیت ذاتی مکانیکی و حرارتی ذاتی کاربید سیلیکون تبلور یافته یا CVD ، در این شرایط از استحکام خود در این شرایط برتری دارند. ضریب انبساط حرارتی بسیار کم آنها به دلیل دوچرخه سواری حرارتی سریع ، حداقل جنگ یا اعوجاج را تضمین می کند. علاوه بر این ، هدایت حرارتی بالا ، بیشترین همگن دمای محلی را در تمام ویفرها ارائه می دهد ، که برای قوام ویفر به وافر در ضخامت لایه ، پروفایل های دوپینگ و عملکرد الکتریکی بسیار مهم است. جنبه های مهم تولید با حجم بالا در صنعت نیمه هادی.

در مقایسه با قایق های کوارتز سنتی ، قایق های عمودی SIC قدرت مکانیکی برتر و عمر خدمات گسترده را ارائه می دهند. کوارتز تمایل دارد به مرور زمان ، به ویژه در شیمیایی های تهاجمی کوره ، شکننده و devitrify شود و منجر به هزینه های جایگزینی بالاتر و وقفه های احتمالی تولید شود. در مقابل ، کاربید سیلیکون حتی پس از قرار گرفتن در معرض طولانی مدت در برابر گازهای خورنده مانند کلر ، HCl یا آمونیاک ، که در فرآیندهای مختلف انتشار و LPCVD رایج است ، یکپارچگی خود را حفظ می کند. مقاومت استثنایی و مقاومت در برابر اکسیداسیون آن ، تولید ذرات را تا حد زیادی کاهش می دهد و به محافظت از سطوح ویفر از آلودگی و تشکیل نقص کمک می کند.

قایق های عمودی SIC همچنین از نظر پردازش فوق العاده تمیز از مزایای قابل توجهی برخوردار هستند. مواد SIC با خلوص بالا تحت دقت دقیق برای کاهش فلزات آلوده کننده ردیابی قابل شناسایی که می تواند در ویژگی های عملیاتی دستگاه های نیمه هادی تداخل داشته باشد ، پردازش می شود. سطوح قایق عمودی SIC با ویژگی های زاویه دار سمت راست به خوبی به پایان رسیده است که احتمال ریختن ذرات ریز را به حداقل می رساند. سطوح SIC از نظر شیمیایی بی اثر هستند و با گازهای فرآیند واکنش نشان نمی دهند و بنابراین کمتر مستعد آلودگی هستند. از این نظر ، قایق های عمودی SIC برای انتهای جلوی خط (FEOL) و انتهای پشت خط (BEOL) عملیات پردازش ویفر مناسب هستند.

قایق های عمودی SIC همچنین انعطاف پذیری طراحی را ارائه می دهند. هر قایق عمودی می تواند برای طراحی چندین قطر ویفر (150 میلی متر ، 200 میلی متر یا 300 میلی متر ویفر) طراحی کند و از شماره شکاف و فاصله استفاده می شود تا نیازهای فرآیند را برآورده سازد. ماشینکاری دقیق و کنترل ابعادی امکان تراز مناسب ویفر و پشتیبانی ویفر را به حداقل می رساند تا احتمال هرگونه ریزش میکرو یا ترک های استرس در هنگام بارگیری ، پردازش و تخلیه را به حداقل برساند. همچنین ، اگر یکنواختی درجه حرارت برتر و یا جرم حرارتی کمتری برای یک فرآیند خاص لازم باشد ، هندسه بهینه شده و طرح های شکاف ممکن است در تنظیمات قایق عمودی SIC ، بدون آنکه ویژگی های مکانیکی را قربانی کند ، گنجانیده شود.

مزیت دیگر نگهداری و کارآیی عملیاتی است. ساخت و ساز سفت و سختباکرهقایق های عمودی زمان و فرکانس جایگزینی را کاهش می دهد ، در نتیجه خرابی یا هزینه مالکیت را به حداقل می رساند. مقاومت در برابر شوک حرارتی SIC باعث می شود چرخه های کوتاهتر گرمایش و سرمایش برای ارائه توان بالاتر در خطوط تولید باشد. نگهداری یا تمیز کردن قایق های عمودی SIC نیز بسیار ساده است. این ماده می تواند بیشتر فرآیندهای تمیز کردن مرطوب یا خشک متداول را که در فاب های نیمه هادی مانند تمیز کردن شیمیایی با اسیدها و پخت و پز با دمای بالا وجود دارد ، تحمل کند.

در این عصر مدرن از ساخت نیمه هادی پیشرفته که در آن بهبود عملکرد ، کنترل آلودگی و ثبات در این فرآیند از اهمیت برخوردار است ، قایق های عمودی SIC یک مزیت فناوری واقعی را ارائه می دهند. آنها به خوبی با چالش های فیزیکی و شیمیایی برنامه های کوره عمودی سر و کار دارند و با ارائه یکپارچگی ویفر ، نتایج مداوم و عمر طولانی تر تجهیزات به بهینه سازی کلی فرایند کمک می کنند.