سی سی سی سی سی سی ویفر قایق

در چشم انداز به سرعت در حال تحول تولید نیمه هادی ها - به ویژه تولید دستگاه های قدرت SiC و GaN برای وسایل برقی الکتریکی، زیرساخت های 5G و انرژی های تجدیدپذیر - قابل اعتماد بودن سخت افزار مدیریت ویفر شما غیرقابل مذاکره است. Semicorex SiC Wafer Boat Carrier نشان دهنده اوج مهندسی مواد است که برای جایگزینی قطعات سنتی کوارتز و گرافیت در محیط های با دمای بالا و خلوص بالا طراحی شده است.

چرا سیلیکون کاربید انتخاب صنعت است؟

با کوچک شدن گره های نیمه هادی و تغییر اندازه ویفر به 200 میلی متر (8 اینچ)، محدودیت های حرارتی و شیمیایی کوارتز تبدیل به یک گلوگاه می شود. سی سی سی سی سی سی ما با استفاده از مهندسی شده استکاربید سیلیکون زینتر شدهیا SiC با پوشش CVD، ترکیبی منحصر به فرد از هدایت حرارتی، استحکام مکانیکی و بی اثری شیمیایی را ارائه می دهد.

1. پایداری حرارتی استثنایی

مواد سنتی معمولاً هنگامی که در معرض دماهای شدید مورد نیاز برای انتشار و بازپخت قرار می‌گیرند، دچار «افتادگی» یا تغییر شکل می‌شوند. حامل قایق ویفر SiC ما یکپارچگی ساختاری را در دمای بیش از 1600 درجه سانتیگراد حفظ می کند. این پایداری حرارتی بالا تضمین می‌کند که شکاف‌های ویفر کاملاً در یک راستا باقی می‌مانند و از "تقت‌غ" یا گیر کردن ویفر در حین انتقال رباتیک خودکار جلوگیری می‌کند.

2. خلوص بالا و آلودگی کم

در محیط اتاق تمیز، ذرات دشمن بازده هستند. قایق‌های حامل ما تحت فرآیند پوشش اختصاصی CVD (رسوب بخار شیمیایی) قرار می‌گیرند. این یک سطح متراکم و غیر متخلخل ایجاد می کند که به عنوان مانعی در برابر خروج گازهای ناخالصی عمل می کند. با سطوح ناخالصی فلزی بسیار کم، حامل‌های ما تضمین می‌کنند که ویفرهای شما - اعم از سیلیکون یا سیلیکون کاربید - در طول چرخه‌های بحرانی گرمای بالا از آلودگی متقاطع باقی می‌مانند.

3. CTE همسان (ضریب انبساط حرارتی)

یکی از دلایل اصلی تنش ویفر و خطوط لغزش، عدم تطابق در انبساط حرارتی بین حامل و ویفر است. قایق‌های SiC ما با CTE طراحی شده‌اند که دقیقاً با ویفرهای SiC مطابقت دارد. این هماهنگ سازی تنش مکانیکی را در طی مراحل گرمایش و سرمایش سریع (RTP) به حداقل می رساند و عملکرد کلی قالب را به طور قابل توجهی بهبود می بخشد.

مشخصات فنی کلیدی

برنامه های کاربردی در ساخت پیشرفته

حامل قایق ویفر SiC ما برای سخت‌ترین فرآیندهای "منطقه داغ" در کارخانه بهینه شده است:

• LPCVD & PECVD: مقاومت بالا در برابر پیش سازهای شیمیایی از تخریب قایق جلوگیری می کند و طول عمر کیت فرآیند را تضمین می کند.
• اکسیداسیون در دمای بالا: برخلاف کوارتز، سی سی سی سی سی دی ابیزه نمی شود و قدرت خود را در هزاران چرخه حفظ می کند.
• انتشار و بازپخت: یکنواختی حرارتی عالی در سراسر قایق تضمین می کند که هر ویفر در دسته دقیقاً همان مشخصات حرارتی را تجربه می کند.
• SiC Epitaxy: به طور خاص برای مقاومت در برابر محیط های خشن مورد نیاز برای رشد لایه های همپایه روی بسترهای SiC طراحی شده است.

دوام با کارایی هزینه روبرو می شود

در حالی که سرمایه گذاری اولیه در سخت افزار SiC بیشتر از کوارتز است، هزینه کل مالکیت (TCO) به طور قابل توجهی کمتر است. حامل های ما برای طول عمر ساخته شده اند و اغلب 5 تا 10 برابر بیشتر از مواد سنتی دوام می آورند. این کار دفعات خرابی ابزار را برای تعویض قطعات کاهش می دهد و خطر خرابی فاجعه بار قایق را که می تواند یک دسته کامل از ویفرهای گران قیمت را از بین ببرد، به حداقل می رساند.

فرآیند خود را به مهندسی اثبات شده اعتماد کنید

ما درک می کنیم که در صنعت نیمه هادی، "به اندازه کافی خوب" هرگز کافی نیست. فرآیند تولید ما شامل بازرسی ابعادی 100٪ CMM و تمیز کردن اولتراسونیک با خلوص بالا قبل از بسته بندی خلاء است.

فرقی نمی‌کند یک خط دستگاه برق 200 میلی‌متری SiC را افزایش دهید یا یک فرآیند قدیمی 150 میلی‌متری را بهینه‌سازی کنید، تیم مهندسی ما برای سفارشی‌سازی زمین شیار، طول قایق، و پیکربندی‌های دسته‌بندی متناسب با نیازهای خاص کوره شما در دسترس است.