قایق های ویفر SiC

Semicorex SiC Wafer Boat که از سرامیک سیلیکون کاربید (SiC) ساخته شده است، با ارائه عملکرد بی نظیر در محیط های با دمای بالا، راه را در برآوردن نیازهای صنعت نیمه هادی ها پیشروی می کند. از آنجایی که صنعت نیمه هادی بی وقفه مرزهای ریزساخت را پیش می برد، تقاضا برای مواد ارتجاعی و مستحکم بسیار مهم می شود.

SiC Wafer Boat نقش مهمی در نگهداری و حمایت از ویفرهای متعدد در طول فرآیندهای حرارتی مانند انتشار، اکسیداسیون و رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایفا می کند. این فرآیندها شامل قرار دادن ویفرها در دمای بسیار بالا، اغلب بیش از 1000 درجه سانتیگراد، در یک اتمسفر کنترل شده است. یکنواختی و یکنواختی این عملیات حرارتی برای اطمینان از کیفیت و عملکرد دستگاه های نیمه هادی در حال ساخت بسیار مهم است. توانایی سی سی ویفر قایق برای تحمل چنین دماهای بالا بدون تغییر شکل یا تخریب تضمین می کند که ویفرها به طور یکنواخت پردازش می شوند که منجر به عملکرد و عملکرد دستگاه برتر می شود.

هدایت حرارتی استثنایی قایق‌های ویفر SiC توزیع یکنواخت گرما را در تمام ویفرها تضمین می‌کند و خطر شیب دما را که می‌تواند منجر به نقص در دستگاه‌های نیمه‌رسانا شود، به حداقل می‌رساند. علاوه بر این، ضریب کم انبساط حرارتی SiC (CTE) منجر به حداقل انبساط و انقباض حرارتی در طول چرخه‌های گرمایش و سرمایش می‌شود. این پایداری برای جلوگیری از تنش مکانیکی و آسیب احتمالی به ویفرها، به ویژه با کوچک شدن هندسه دستگاه، بسیار مهم است.

در طی فرآیندهای حرارتی، ویفرها در معرض گازهای واکنشی مختلفی قرار می گیرند که می توانند با مواد قایق ویفر SiC تعامل داشته باشند. مقاومت شیمیایی عالی SiC تضمین می کند که با این گازها واکنش نشان نمی دهد و از آلودگی جلوگیری می کند و خلوص ویفرها را تضمین می کند. این امر به ویژه در تولید دستگاه های نیمه هادی پیشرفته بسیار مهم است، جایی که حتی مقادیر کمی از آلودگی می تواند منجر به نقص و کاهش قابلیت اطمینان دستگاه شود.