قایق های کاربید سیلیکون

قایق های کاربید نیمورکس سیلیکون ثبات حرارتی استثنایی را نشان می دهند و به آنها امکان می دهد در برابر دمای شدید مورد نیاز برای اکسیداسیون و فرآیندهای انتشار مقاومت کنند. مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی آنها خطر ترک خوردگی یا تغییر شکل را به حداقل می رساند و از طول عمر عملیاتی طولانی مدت اطمینان می دهد. ترکیب SIC با چگالی بالا ، قدرت مکانیکی برتر را فراهم می کند ، و یکپارچگی ساختاری را حتی در دوچرخه سواری حرارتی مداوم حفظ می کند. این مقاومت استثنایی در برابر استرس مکانیکی احتمال آلودگی ویفر و شکستگی را کاهش می دهد و به بازده روند بالاتر کمک می کند. علاوه بر این ، قایق های SIC دارای مقاومت شیمیایی فوق العاده ای هستند و گازهای فرآیند تهاجمی را که در مراحل اکسیداسیون و انتشار استفاده می شود ، بی اثر باقی می مانند. این ویژگی مانع از واکنش های ناخواسته می شود که می تواند پاکی ویفر و راندمان تولید را به خطر بیاندازد.

قایق های کاربید سیلیکون در درجه اول در کوره های اکسیداسیون و انتشار مورد استفاده قرار می گیرند ، جایی که کنترل دقیق بر روی قرار گرفتن در معرض ویفر در دمای بالا و گازهای واکنشی ضروری است. آنها از ویفرها در حین اکسیداسیون حرارتی برای رشد لایه های دی اکسید سیلیکون با کیفیت بالا پشتیبانی می کنند و دوپینگ یکنواخت را از طریق قرار گرفتن در معرض کنترل شده در برابر گازهای دوپانت تسهیل می کنند. علاوه بر این ، آنها یک بستر پایدار برای بازپخت و سایر درمان های درجه حرارت بالا که نیاز به قرار گرفتن در معرض حرارت طولانی دارند ، فراهم می کنند.

در مقایسه با قایقهای سنتی کوارتز و گرافیت ، قایق های کاربید سیلیکون دوام ، طول عمر و عملکرد بی نظیر را ارائه می دهند. توانایی آنها در برابر مقاومت در برابر محیط های حرارتی و شیمیایی سخت و در عین حال به حداقل رساندن آلودگی ، آنها را به عنوان انتخاب ترجیحی برای تولید نیمه هادی با دقت بالا تبدیل می کند. با تمرکز بر کیفیت و نوآوری ، قایق های کاربید سیلیکون ما عملکرد برتر را ارائه می دهند ، از بازده بالا و پردازش کارآمد ویفر برای تولید کنندگان نیمه هادی در سراسر جهان استفاده می کنند. چه برای فن آوری های پیشرفته گره و چه برای ساخت نیمه هادی میراث ، این قایق ها یک راه حل قابل اعتماد برای برآورده کردن نیازهای دقیق صنعت ارائه می دهند.

(1) حمل و محافظت: قایق های کاربید سیلیکون مواد نیمه هادی مانند ویفرها را از طریق براکت ها یا شکاف های داخلی خود حمل می کنند و از درجه حرارت بالا و مقاومت در برابر خوردگی مواد کاربید سیلیکون برای محافظت از ویفرها در برابر محیط خارجی استفاده می کنند.

(2) گرمایش یکنواخت: قایق کاربید سیلیکون اجازه می دهد تا ویفرهای داخل در طی فرآیند عملیات حرارتی به طور مساوی گرم شوند. این کمک می کند تا اطمینان حاصل شود که درجه حرارت و میزان واکنش هر قسمت از ویفر در طی فرآیند عملیات حرارتی سازگار است و از این طریق عملکرد و کیفیت ویفر را بهبود می بخشد.

در حال حاضر سه نوع اصلی وجود داردسرامیک کاربیدمواد: پخت و پز ، پخت و پز بدون فشار و پخت و پز تبلور مجدد. در اکثر کاربردها ، کاربید سیلیکون واکنش یافته یک محصول مناسب تر و مقرون به صرفه تر است. قایق های SIC تبلور شده معمولاً چند قطعه واحد را پردازش می کنند و ابتدا از Si Paste استفاده می کنند تا قطعات را در یک قایق در دمای بالا ترکیب کنند و در نهایت از پوشش CVD-SIC (حدود 100um) استفاده کنید. از آنجا که تبلور مجدد متخلخل است ، اگر پوشش SIC وجود نداشته باشد ، جزئی از فرآیند نیمه هادی را نیز معرفی می کند. این نوع قایق SIC تبلور شده با پوشش CVD-SIC طولانی ترین فرآیند تولید را دارد و بسیار گران است. در مقایسه با قایق های گرافیتی با پوشش SIC ، قایق های SIC تبلور شده با CVD-SIC دارای مشکل عدم تطابق CTE نیستند.