پاروهای سرامیکی سیلیکون کاربید

پاروهای کنسول سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex اجزای ساختاری کنسولی با کارایی بالا هستند که دقیقاً از کاربید سیلیکون با خلوص بالا ساخته می شوند. پاروهای کنسول سرامیکی کاربید سیلیکون ما راه‌حل‌های بهینه برای حمل و حمل ویفر هستند که به‌طور خاص برای ساخت ویفر نیمه‌رسانای پیشرفته و تولید سلول‌های فتوولتائیک طراحی شده‌اند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

نیمه کورکسپاروهای کنسول سرامیکی کاربید سیلیکونبا پخت در دمای بالا بدنه سبز رنگ پرینت سه بعدی یک مرحله ای، و به دنبال آن عملیات پوشش از طریق رسوب شیمیایی بخار تولید می شود. در حین کارکرد واقعی، پدال‌های کنسول سرامیکی کاربید سیلیکون توسط سیستم‌های اتوماسیون مکانیکی فعال می‌شوند تا اجزای حامل ویفر را به‌طور روان و پیوسته به داخل و خارج از تجهیزات پردازش در دمای بالا (مانند کوره‌های اکسیداسیون، کوره‌های انتشار، کوره‌های CVD و غیره) منتقل کنند. این اجزای کاربید سیلیکون می‌توانند به طور موثری از دقت هم‌مرکزی بین ویفرها و لوله‌های کوره اطمینان حاصل کنند، بنابراین یکنواختی و پایداری فرآیند را در طول فرآیندهای حیاتی مانند انتشار، اکسیداسیون و رسوب بخار شیمیایی تضمین می‌کنند.

عملکرد پاروهای سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex

1. عملکرد کم آلودگی:

نیمه کورکسکاربید سیلیکونپاروهای کنسول سرامیکی که با پردازش با دقت بالا پردازش شده اند، به استانداردهای بدون گرد و غبار و بدون ذرات می رسند. ماتریس های آنها دارای محتوای ناخالصی زیر 300PPM هستند و محتوای ناخالصی پوشش کاربید سیلیکون CVD حتی کمتر از 5PPM است.

2. پایداری در دمای بالا:

با توجه به مقاومت عالی در دمای بالا و مقاومت شوک حرارتی کاربید سیلیکون، پاروهای کنسول سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex می توانند پایداری ساختاری خود را در دمای بالا تا 1250 درجه سانتیگراد برای مدت طولانی بدون تغییر شکل، نرم شدن یا آسیب ناشی از دمای بالا حفظ کنند.

3. ظرفیت بار استثنایی:

پاروهای سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex با بهره مندی از طراحی ساختاری منحصر به فرد و خواص مواد برتر خود (مقاومت مکانیکی و سختی بالا) ظرفیت بار استثنایی را ارائه می دهند. این ظرفیت بار استثنایی آنها را قادر می سازد تا وزن دسته های بزرگ ویفر را برای برآوردن نیازهای تولید انبوه تحمل کنند، که به طور موثری کارایی پردازش دسته ای ویفر را بهبود می بخشد.

4. مقاومت در برابر خوردگی قابل توجه:

پاروهای کنسول سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی در برابر اکسیژن، کلر و سایر مواد خورنده موجود در دمای بالا در فرآیندهای تولید نیمه هادی و فتوولتائیک از خود نشان می دهند. این عملکرد برتر برای اطمینان از عملکرد روان فرآیندهای تولید با جلوگیری از تلفات و زمان ناشی از آسیب به دست و پاچه های کنسول سرامیکی کاربید سیلیکون بسیار مهم است.