Semicorex شریک شما برای بهبود در پردازش نیمه هادی است. پوششهای کاربید سیلیکون ما متراکم، در دمای بالا و مقاوم در برابر مواد شیمیایی هستند که اغلب در کل چرخه تولید نیمههادیها از جمله پردازش ویفر و ویفر نیمهرسانا و ساخت نیمهرسانا استفاده میشوند.
اجزای سرامیکی SiC با خلوص بالا برای فرآیندهای نیمه هادی بسیار مهم هستند. پیشنهاد ما از قطعات مصرفی برای تجهیزات پردازش ویفر، مانند قایق ویفر کاربید سیلیکون، پاروهای کنسول، لوله و غیره برای Epitaxy یا MOCVD است.
مزایای فرآیندهای نیمه هادی
مراحل رسوب لایه نازک مانند اپیتاکسی یا MOCVD، یا پردازش ویفر مانند اچ کردن یا کاشت یونی باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند. Semicorex ساختار کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا را تامین می کند، مقاومت حرارتی عالی و مقاومت شیمیایی بادوام، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi ثابت را ارائه می دهد.
درب محفظه →
درب محفظه ای که در رشد کریستال و پردازش ویفر استفاده می شود باید در دمای بالا و تمیز کردن شیمیایی خشن مقاومت کند.
دست و پا زدن کنسول →
Cantilever Paddle یک جزء حیاتی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی، به ویژه در کوره های انتشار یا LPCVD در طی فرآیندهایی مانند انتشار و RTP استفاده می شود.
لوله فرآیند →
Process Tube یک جزء حیاتی است که به طور خاص در کاربردهای مختلف پردازش نیمه هادی مانند RTP و Diffusion طراحی شده است.
قایق های ویفر →
ویفر قایق در پردازش نیمه هادی استفاده می شود، به طور دقیق طراحی شده است تا اطمینان حاصل شود که ویفرهای ظریف در طول مراحل بحرانی تولید ایمن نگه داشته می شوند.
حلقه های ورودی →
حلقه ورودی گاز با پوشش SiC توسط تجهیزات MOCVD رشد مرکب دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا است که در محیط شدید پایداری زیادی دارد.
حلقه فوکوس →
حلقه فوکوس با پوشش سیلیکون کاربید تامین می کند Semicorex برای تمیز کردن RTA، RTP یا مواد شیمیایی خشن واقعا پایدار است.
ویفر چاک →
ویفر وکیوم سرامیکی فوق تخت Semicorex از روکش SiC با خلوص بالا در فرآیند جابجایی ویفر استفاده می کند.
Semicorex همچنین دارای محصولات سرامیکی در آلومینا (Al2O3)، نیترید سیلیکون (Si3N4)، نیترید آلومینیوم (AIN)، زیرکونیا (ZrO2)، سرامیک کامپوزیت و غیره است.
صفحه اچینگ Semicorex ICP یک جزء پیشرفته و با کارایی بالا است که به طور خاص برای کاربردهای نیمه هادی طراحی شده است که از مواد سیلیکون کاربید (SiC) ساخته شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلامبازتابنده SiC Semicorex یک عنصر محوری در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحات انتقال حرارت سرامیکی Semicorex SiC، بر اساس SiC به عنوان ماده اولیه، در دمای 2250 درجه سانتیگراد تحت تف جوشی در دمای بالا قرار می گیرند که منجر به یک بدنه سرامیکی متراکم بسیار منجمد شده با تخلخل صفر با محتوای SiC ≥99.3٪ می شود. این سرامیک ها با مقاومت خمشی ≥410MPa و رسانایی حرارتی 140W/m.k، تنها موادی هستند که قادر به مقاومت در برابر خوردگی ناشی از اسیدهای قوی مانند اسید هیدروفلوئوریک (HF) و اسید سولفوریک (H2SO4) در صنعت نیمه هادی هستند. ما در Semicorex به تولید و عرضه صفحات انتقال حرارت سرامیکی SiC با کارایی بالا که کیفیت را با کارآمدی هزینه ترکیب میکنند، اختصاص دادهایم. **
ادامه مطلبارسال استعلامقطعات ساختاری سرامیکی سیلیکون کاربید Semicorex که از دانههای کاربید سیلیکون به هم چسبیده شده توسط تف جوشی به دست میآیند، کاربرد گستردهای در بخشهای خودرو، مکانیک، شیمیایی، نیمهرسانا، فناوری فضایی، میکروالکترونیک و انرژی پیدا میکنند و نقشهای حیاتی را در کاربردهای متنوع در این صنایع ایفا میکنند. قطعات ساختاری سرامیکی سیلیکون کاربید به دلیل خواص قابل توجه خود به یک ماده ایده آل برای شرایط سخت تبدیل شده اند که با درجه حرارت بالا، فشار بالا، خوردگی و سایش مشخص می شود و عملکرد قابل اعتماد و طول عمر را در محیط های عملیاتی چالش برانگیز ارائه می دهد.**
ادامه مطلبارسال استعلامفلنج های سرامیکی آلومینا اجزای مهندسی شده ای هستند که مزایای قابل توجهی را ارائه می دهند، به ویژه در تنظیماتی که پایداری حرارتی، ملاحظات وزن و مقاومت در برابر خوردگی از اهمیت بالایی برخوردار است. این فلنج ها نه تنها بادوام و قابل اعتماد هستند، بلکه به کارایی کلی و مقرون به صرفه بودن سیستم هایی که در آن استفاده می شوند نیز کمک می کنند. ویژگیهای منحصربهفرد آنها آنها را به گزینهای عالی برای راهحلهای مهندسی پیشرفته در بخشهای مختلف صنعتی تبدیل میکند. ما در Semicorex به تولید و عرضه فلنجهای سرامیکی آلومینا با کارایی بالا اختصاص داده شدهایم که کیفیت را با کارایی هزینه ترکیب میکند.**
ادامه مطلبارسال استعلامچاک خلاء آلومینا Semicorex یک دستگاه نگهدارنده دقیق است که برای کاربردهای تولیدی و تحقیقاتی پیشرفته طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلام