قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون

قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex به عنوان قطعات ضروری حمل ویفر، به طور خاص برای بستن، پشتیبانی و انتقال ایمن ویفرها در تولید نیمه هادی ها، به ویژه در فرآیندهای عملیات حرارتی دقیق، مهندسی شده اند. Semicorex، شرکت پیشرو در صنعت در چین، متعهد به ارائه قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون با کیفیت بالا است که عملکرد ویفر و کارایی عملیاتی را افزایش می دهد.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

انتخاب مواد درجه یک

خواص عالی سرامیک کاربید سیلیکون Semicorexقایق های ویفربه مواد اولیه با کیفیت بالا نسبت داده می شود. قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون که از مواد SiSiC درجه نیمه هادی ساخته شده و با پوشش CVD SiC پوشانده شده اند، خواص عالی زیر را نشان می دهند.

Silicon carbide ceramic wafer boats

1. خلوص فوق العاده بالا، عاری از انتشار ناخالصی فلز

ناخالصی بستر: 100 ppm

ناخالصی پوشش CVD SiC: 1 ppm

2. پایداری حرارتی برتر

قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون قادر به عملکرد ثابت در شرایط دمای بالای 1250 درجه سانتیگراد هستند و حداقل تغییر شکل و مقاومت در برابر خزش را ارائه می دهند.

3. استحکام مکانیکی بالا

کاربید سیلیکوندارای سختی بالا و مقاومت در برابر سایش است و قایق‌های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex را قادر می‌سازد تا در برابر خراش، ساییدگی و آسیب مقاومت کنند، بنابراین در طول عملیات طولانی‌مدت عملکرد خوبی دارند و در برابر آسیب مقاوم هستند.

4. مقاومت در برابر خوردگی استثنایی

از آنجایی که کاربید سیلیکون در برابر خوردگی اسیدها و قلیایی‌های قوی مقاوم است، قایق‌های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex می‌توانند یکپارچگی ساختاری و عملکرد عملکردی خود را حتی در شرایط کاری بسیار خورنده حفظ کنند.

طراحی ساختاری بهینه

قایق‌های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex برای پردازش دسته‌ای ویفر طراحی شده‌اند، چارچوب ساختاری بهینه‌شده آن‌ها پشتیبانی از ویفر دسته‌ای پایدار و پایداری فرآیند سازگار برای هر ویفر را تضمین می‌کند.

ساختار پشتیبانی عمودی 1.3 پست

ساختار عمودی قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex آنها را قادر می سازد تا به طور یکپارچه با کاربردهای کوره های عمودی مطابقت داشته باشند. با این ساختار، قایق‌های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون emicorex می‌توانند گردش همگن گازهای فرآیند و توزیع یکنواخت انرژی حرارتی را در کوره با دمای بالا تسهیل کنند.

2. توزیع یکنواخت شیارها

قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex به چندین شیار با ماشینکاری دقیق روی پایه های پشتیبانی خود مجهز شده اند. شیارهای با فواصل یکسان آنها به فاصله شیارهای مناسبی می‌رسند، که قایق‌های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون را قادر می‌سازد تا ویفرهای نیمه‌رسانا را محکم محکم کنند و در نتیجه به بهبود ثبات نتایج پردازش حرارتی ویفر کمک کند.

با عملکرد و عملکرد بسیار عالی، قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون Semicorex به طور گسترده در فرآیندهای اصلی تولید ویفر نیمه هادی مانند اکسیداسیون، انتشار، کاشت یون و بازپخت در دمای بالا استفاده می شود.

تگ های داغ: قایق های ویفر سرامیکی کاربید سیلیکون، چین، تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، سفارشی، فله، پیشرفته، بادوام

برچسب محصول

دسته بندی مرتبط