قایق های کاست کاربید سیلیکون

نیمه کورکسقایق های کاست کاربید سیلیکوناجزای حمل ضروری هستند، با ساختار پایدار و با استحکام بالا، ویفرهای نیمه هادی متعدد را به طور ایمن و دقیق نگه می دارند، انتقال می دهند و می گیرند. آنها به طور گسترده در فرآیندهای مختلف نیمه هادی با دمای بالا برای اطمینان از توزیع بهینه گرما و جریان گاز برای نتایج پردازش سازگار استفاده می شوند.

مواد خام با دقت انتخاب شده است

قایق های نوار کاست کاربید سیلیکون Semicorex که دقیقاً از پودر کاربید سیلیکون درجه نیمه هادی از طریق تف جوشی در دمای بالا ساخته شده اند دارای خواص عالی زیر هستند.

1. خلوص فوق العاده بالا:میزان ناخالصی زیرلایه زیر 100 PPM کنترل می شود و سطح ناخالصی آنکاربید سیلیکون CVDپوشش می تواند به کمتر از 1 PPM برسد.

2. مقاومت در برابر خوردگی قابل اعتماد:سرامیک کاربید سیلیکون مقاومت در برابر خوردگی قوی دارد و در برابر خوردگی بیشتر اسیدها (مانند اسید هیدروکلریک، اسید سولفوریک و اسید هیدروفلوریک)، قلیاها (مانند سود سوزآور)، حلال ها و محیط های اکسید کننده مقاوم است.

3. ظرفیت مدیریت حرارتی استثنایی:با مقاومت حرارتی استثنایی و ضریب انبساط حرارتی کم، قایق‌های کاست کاربید سیلیکون می‌توانند خواص شیمیایی و استحکام مکانیکی خود را حتی زمانی که در دمای بالا در حدود 1250 درجه سانتی‌گراد در معرض شرایط عملیاتی طولانی‌مدت قرار می‌گیرند، حفظ کنند.

ساختار مهندسی دقیق

1. ساختار قاب افقی:ساختار قاب افقی قایق‌های کاست کاربید سیلیکون Semicorex باعث می‌شود که آنها کاملاً با لوله‌های کوره‌های افقی با دمای بالا سازگار شوند.

2. شکاف های شکاف با فاصله یکسان:قایق‌های کاست کاربید سیلیکون Semicorex با داشتن شکاف‌های متعدد با فواصل یکسان، می‌توانند ویفر را محکم در جای خود نگه دارند، که می‌تواند به طور قابل توجهی از خراش‌های ناخواسته، ساییدگی و آسیب ناشی از جابجایی ویفر جلوگیری کند، بنابراین به طور موثر پایداری فرآیند نیمه‌رسانا و عملکرد ویفر را تضمین می‌کند.

3. طراحی چند اسلات:شکاف های متعددی که برای حمل چندین ویفر طراحی شده اند، قایق های نوار کاست کاربید سیلیکون Semicorex را قادر می سازند تا توان پردازش تک دسته ای و کارایی کلی تولید خود را بهبود بخشند.

4. معماری باز:قایق‌های کاست کاربید سیلیکون Semicorex به معماری باز متفکرانه مجهز شده‌اند که می‌تواند به دستیابی به توزیع یکنواخت گاز و تماس واکنش کافی کمک کند، که در نتیجه به طور موثر نتایج فرآیند ناسازگار را به حداقل می‌رساند.