پوشش SiC یک لایه نازک بر روی گیرنده از طریق فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) است. مواد کاربید سیلیکون چندین مزیت نسبت به سیلیکون دارد، از جمله 10 برابر قدرت میدان الکتریکی شکست، 3 برابر شکاف نواری، که مقاومت در برابر حرارت و شیمیایی بالا، مقاومت در برابر سایش عالی و همچنین رسانایی حرارتی را برای مواد فراهم میکند.
Semicorex خدمات سفارشی را ارائه می دهد، به شما کمک می کند تا با اجزایی که دوام بیشتری دارند، نوآوری کنید، زمان چرخه را کاهش دهید و بازده را بهبود بخشید.
پوشش SiC دارای چندین مزیت منحصر به فرد است
مقاومت در برابر دمای بالا: گیرنده پوشش داده شده CVD SiC می تواند در دمای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد بدون تخریب حرارتی قابل توجه مقاومت کند.
مقاومت شیمیایی: پوشش کاربید سیلیکون مقاومت عالی در برابر طیف وسیعی از مواد شیمیایی از جمله اسیدها، قلیاها و حلال های آلی ایجاد می کند.
مقاومت در برابر سایش: پوشش SiC مقاومت بالایی در برابر سایش به مواد ارائه می دهد و آن را برای کاربردهایی که شامل سایش و پارگی زیاد می شوند مناسب می کند.
رسانایی حرارتی: پوشش CVD SiC رسانایی حرارتی بالایی را برای مواد فراهم می کند و آن را برای استفاده در کاربردهای با دمای بالا که نیاز به انتقال حرارت کارآمد دارند مناسب می کند.
استحکام و سفتی بالا: گیره پوشانده شده با کاربید سیلیکون استحکام و سفتی بالایی به مواد می دهد و آن را برای کاربردهایی که نیاز به استحکام مکانیکی بالایی دارند مناسب می کند.
پوشش SiC در کاربردهای مختلفی استفاده می شود
تولید ال ای دی: به دلیل رسانایی حرارتی بالا و مقاومت شیمیایی، از سوسپتور CVD با پوشش سی سی در تولید انواع LED از جمله LED آبی و سبز، LED UV و LED عمیق UV استفاده می شود.
ارتباطات سیار: گیرنده پوشش داده شده CVD SiC بخش مهمی از HEMT برای تکمیل فرآیند اپیتاکسیال GaN-on-SiC است.
پردازش نیمه هادی: گیرنده پوشش داده شده CVD SiC در صنعت نیمه هادی برای کاربردهای مختلف، از جمله پردازش ویفر و رشد اپیتاکسیال استفاده می شود.
اجزای گرافیت با پوشش SiC
این پوشش که توسط گرافیت پوشش سیلیکون کاربید (SiC) ساخته شده است، با روش CVD روی گرافیت های با چگالی بالا اعمال می شود، بنابراین می تواند در کوره دمای بالا با بیش از 3000 درجه سانتیگراد در اتمسفر بی اثر، 2200 درجه سانتیگراد در خلاء کار کند. .
خواص ویژه و جرم کم مواد باعث سرعت گرمایش سریع، توزیع یکنواخت دما و دقت فوق العاده در کنترل می شود.
داده های مواد پوشش Semicorex SiC
خواص معمولی |
واحدها |
ارزش ها |
ساختار |
|
فاز β FCC |
جهت گیری |
کسر (%) |
111 ترجیح داده می شود |
چگالی ظاهری |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
ظرفیت حرارتی |
J kg-1 K-1 |
640 |
انبساط حرارتی 100-600 درجه سانتیگراد (212-1112 درجه فارنهایت) |
10-6K-1 |
4.5 |
مدول یانگ |
Gpa (4pt خم، 1300℃) |
430 |
اندازه دانه |
میکرومتر |
2 تا 10 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
هدایت حرارتی |
(W/mK) |
300 |
نتیجهگیری گیرنده پوششدادهشده CVD SiC یک ماده کامپوزیتی است که ویژگیهای یک گیرنده و کاربید سیلیکون را ترکیب میکند. این ماده دارای خواص منحصر به فردی از جمله مقاومت در برابر حرارت و شیمیایی بالا، مقاومت در برابر سایش عالی، هدایت حرارتی بالا و استحکام و سفتی بالا می باشد. این ویژگی ها آن را به ماده ای جذاب برای کاربردهای مختلف در دمای بالا، از جمله پردازش نیمه هادی، پردازش شیمیایی، عملیات حرارتی، تولید سلول های خورشیدی و تولید LED تبدیل می کند.
سینی حامل اچینگ PSS Semicorex برای پردازش ویفر به طور خاص برای برنامه های کاربردی تجهیزات اپیتاکسی طراحی شده است. حامل گرافیت فوقالعاده خالص ما برای مراحل رسوب لایه نازک مانند MOCVD، گیرندههای اپیتاکسی، پلتفرمهای پنکیک یا ماهوارهای و پردازش ویفر مانند اچینگ ایدهآل است. سینی حامل اچینگ PSS برای پردازش ویفر دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا، خواص توزیع حرارت عالی و رسانایی حرارتی بالا است. محصولات ما مقرون به صرفه هستند و مزیت قیمت خوبی دارند. ما به بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی پاسخ می دهیم و مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامدر Semicorex، ما سینی حامل حکاکی PSS را برای LED به طور خاص برای محیطهای خشن مورد نیاز برای رشد اپیتاکسیال و فرآیندهای جابجایی ویفر طراحی کردهایم. حامل گرافیت فوقالعاده خالص ما برای مراحل رسوب لایه نازک مانند MOCVD، گیرندههای اپیتاکسی، پلتفرمهای پنکیک یا ماهوارهای، و پردازش پردازش ویفر مانند اچینگ ایدهآل است. حامل با پوشش SiC دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا، خواص توزیع حرارت عالی و هدایت حرارتی بالا است. سینی حامل اچینگ PSS ما برای LED مقرون به صرفه است و مزیت قیمت خوبی را ارائه می دهد. ما به بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی پاسخ می دهیم و مشتاقانه منتظر تبدیل شدن به شریک طولانی مدت شما در چین هستیم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor به طور ویژه برای محیطهای تمیزکننده شیمیایی با دمای بالا و خشن مورد نیاز برای رشد اپیتاکسیال و فرآیندهای جابجایی ویفر طراحی شده است. صفحه حامل اچینگ PSS فوق خالص ما برای نیمه هادی ها برای پشتیبانی از ویفرها در طول مراحل رسوب لایه نازک مانند MOCVD و گیرنده های اپیتاکسی، پنکیک یا پلت فرم های ماهواره ای طراحی شده است. حامل با پوشش SiC ما دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا، خواص توزیع حرارت عالی، و هدایت حرارتی بالا است. ما راه حل های مقرون به صرفه ای را برای مشتریان خود ارائه می دهیم و محصولات ما بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی را پوشش می دهند. Semicorex مشتاق است که شریک طولانی مدت شما در چین باشد.
ادامه مطلبارسال استعلامحامل های ویفر که در رشد اپیکسیال و پردازش ویفر استفاده می شوند باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند. Semicorex SiC Coated PSS Etching Carrier به طور خاص برای این کاربردهای تجهیزات اپیتاکسی سخت مهندسی شده است. محصولات ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex SiC Coated Barrel Susceptor for LPE Epitaxial Growth محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است. مشخصات حرارتی یکنواخت، الگوی جریان گاز آرام و جلوگیری از آلودگی آن را به انتخابی ایده آل برای رشد لایه های همپایی با کیفیت بالا بر روی تراشه های ویفر تبدیل کرده است. قابلیت سفارشی سازی و مقرون به صرفه بودن آن، آن را به یک محصول بسیار رقابتی در بازار تبدیل کرده است.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex Barrel Susceptor Epi System محصولی با کیفیت است که چسبندگی پوششی عالی، خلوص بالا و مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا را ارائه می دهد. مشخصات حرارتی یکنواخت، الگوی جریان گاز آرام و جلوگیری از آلودگی آن را به انتخابی ایده آل برای رشد لایه های اپیکسیال بر روی تراشه های ویفر تبدیل کرده است. مقرون به صرفه بودن و قابلیت سفارشی سازی آن را به یک محصول بسیار رقابتی در بازار تبدیل کرده است.
ادامه مطلبارسال استعلام