گیرنده های راکتورهای MOCVD

Susceptors برای راکتورهای MOCVD Semicorex محصولات باکیفیتی هستند که در صنعت نیمه هادی برای کاربردهای مختلف مانند لایه های کاربید سیلیکون و نیمه هادی اپیتاکسی استفاده می شوند. محصول ما به شکل چرخ دنده یا حلقه ای موجود است و برای دستیابی به مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا طراحی شده است و آن را در دماهای تا 1600 درجه سانتیگراد پایدار می کند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

گیرنده های ما برای راکتورهای MOCVD توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا ساخته می شوند و خلوص بالا را تضمین می کنند. سطح محصول متراکم، با ذرات ریز و سختی بالا است که آن را در برابر خوردگی در برابر اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی مقاوم می کند.
گیرنده های ما برای راکتورهای MOCVD برای اطمینان از پوشش روی همه سطوح، اجتناب از پوسته شدن و دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده اند. این محصول یکنواختی مشخصات حرارتی را تضمین می کند و از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها در طول فرآیند جلوگیری می کند و نتایج با کیفیت بالا را تضمین می کند.
در Semicorex، ما رضایت مشتری را در اولویت قرار می دهیم و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می دهیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.

پارامترهای گیرنده برای راکتورهای MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300

ویژگی های SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید