حامل های ویفر بستر گرافیتی پوشش SiC برای MOCVD

می توانید از خرید حامل های ویفر بستر گرافیتی پوشش SiC برای MOCVD از کارخانه ما مطمئن باشید. در Semicorex، ما یک تولید کننده و تامین کننده گیره گرافیت با پوشش SiC در چین در مقیاس بزرگ هستیم. محصول ما مزیت قیمت خوبی دارد و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما در تلاش هستیم تا به مشتریان خود محصولاتی با کیفیت بالا ارائه دهیم که نیازهای خاص آنها را برآورده کند. حامل ویفر بستر Graphite Coating SiC ما برای MOCVD یک انتخاب عالی برای کسانی است که به دنبال یک حامل با کارایی بالا برای فرآیند تولید نیمه هادی خود هستند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

حامل ویفر بستر گرافیتی پوشش SiC برای MOCVD نقش مهمی در فرآیند تولید نیمه هادی ایفا می کند. محصول ما بسیار پایدار است، حتی در محیط های شدید، و آن را به یک انتخاب عالی برای تولید ویفرهای با کیفیت بالا تبدیل می کند.
ویژگی های حامل های ویفر بستر گرافیتی پوشش SiC ما برای MOCVD برجسته است. سطح متراکم و ذرات ریز آن مقاومت در برابر خوردگی آن را افزایش داده و آن را در برابر اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی مقاوم می کند. حامل پروفیل حرارتی یکنواخت را تضمین می کند و بهترین الگوی جریان گاز آرام را تضمین می کند و از انتشار هر گونه آلودگی یا ناخالصی در ویفر جلوگیری می کند.

پارامترهای حامل های ویفر بستر گرافیتی پوشش SiC برای MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید