حامل ویفر سیلیکونی

Semicorex برای ابزارهای نیمه‌ساخت OEM و اجزای کنترل ویفر با تمرکز بر لایه‌های کاربید سیلیکون در صنایع نیمه‌رسانا، سرامیک‌های نیمه‌رسانا ارائه می‌کند. ما سالها تولید کننده و تامین کننده حامل ویفر سیلیکونی بوده ایم. حامل ویفر سیلیکونی ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

فرآیندهای رسوب دهی نیمه هادی از ترکیبی از گازهای پیش ساز فرار، پلاسما و دمای بالا برای لایه گذاری لایه های نازک با کیفیت بالا بر روی ویفرها استفاده می کنند. محفظه های رسوب دهی و ابزارهای جابجایی ویفر به اجزای سرامیکی بادوام نیاز دارند تا در برابر این محیط های چالش برانگیز مقاومت کنند.
حامل ویفر سیلیکونی Semicorex یک کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است.

پارامترهای حامل ویفر سیلیکونی

خصوصیات فنی
شاخص	واحد	ارزش
نام مواد		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
قدرت خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	دکمه	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
هدایت حرارتی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های سیلیکون ویفر کریر

گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
روکش کریستال SiC ریز برای سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن رخ نمی دهد.

اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون:

● میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی

● لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی

● حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی

● دیسک سرامیکی

● صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی

● توپ سرامیکی

● پیستون سرامیکی

● نازل سرامیکی

● بوته سرامیکی

● سایر قطعات سرامیکی سفارشی