حامل ویفر سیلیکونی

Semicorex برای ابزارهای نیمه‌ساخت OEM و اجزای کنترل ویفر با تمرکز بر لایه‌های کاربید سیلیکون در صنایع نیمه‌رسانا، سرامیک‌های نیمه‌رسانا ارائه می‌کند. ما سالها تولید کننده و تامین کننده حامل ویفر سیلیکونی بوده ایم. حامل ویفر سیلیکونی ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

فرآیندهای رسوب دهی نیمه هادی از ترکیبی از گازهای پیش ساز فرار، پلاسما و دمای بالا برای لایه گذاری لایه های نازک با کیفیت بالا روی ویفرها استفاده می کنند. محفظه‌های رسوب‌گذاری و ابزارهای جابجایی ویفر برای مقابله با این محیط‌های چالش‌برانگیز به اجزای سرامیکی بادوام نیاز دارند.
حامل ویفر سیلیکونی Semicorex یک کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است.

پارامترهای حامل ویفر سیلیکونی

خصوصیات فنی
فهرست مطالب	واحد	ارزش
نام ماده		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب بندی		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
استحکام خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتی گراد) 90-100 (1400 درجه سانتی گراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	Knoop	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
رسانایی گرمایی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های سیلیکون ویفر کریر

گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
کریستال SiC ریز پوشش داده شده برای سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن رخ نمی دهد.

اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون ¼

میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی

â لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی

â حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی

دیسک سرامیکی

â صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی

توپ سرامیکی

پیستون سرامیکی

نازل سرامیکی

بوته سرامیکی

â سایر قطعات سرامیکی سفارشی