قایق ویفر SiSiC

قایق ویفر Semicorex SiSiC جزء حیاتی در نیمه هادی است، از سرامیک سیلیکون کاربید با خلوص بالا با پوشش CVD ساخته شده است. Semicorex می‌تواند مناسب‌ترین راه‌حل‌ها را بر اساس نیاز مشتری ارائه دهد و توسط شرکای سراسر جهان واجد شرایط شده باشد.*

ارسال استعلام

توضیحات محصول

در چشم انداز رقابتی تولید نیمه هادی ها و سلول های خورشیدی، متعادل کردن توان عملیاتی با طول عمر قطعات ضروری است. ماSiSiC ویفر قایق‌ها طوری طراحی شده‌اند که «اسب کار صنعتی» برای عملیات کوره‌های با دمای بالا باشد. با استفاده از فرآیند پیوند واکنش، حاملی را ارائه می دهیم که مقاومت مکانیکی و مقاومت در برابر شوک حرارتی بالاتری را در مقایسه با کوارتز سنتی و سرامیک های استاندارد ارائه می دهد.

علم SiSiC: چرا پیوند واکنش مهم است

بر خلاف SiC متخلخل که از طریق تثبیت پودر با فشار بالا تشکیل می شود،قایق ویفر SiSiC با نفوذ یک پیش‌فرم کربن متخلخل با سیلیکون مذاب تولید می‌شود. این فرآیند "پیوند واکنشی" منجر به یک ماده با انقباض تقریباً صفر در طول ساخت می شود که امکان تولید معماری پیچیده و مقیاس بزرگ قایق را با دقت ابعادی باورنکردنی فراهم می کند.

1. مقاومت شوک حرارتی برتر

یکی از بحرانی ترین چالش ها در پردازش دسته ای، چرخه سریع "فشار کشش" کوره است. حامل های کوارتز اغلب تحت تنش حرارتی ترک می خورند. SiSiC دارای مدول گسیختگی (MOR) و هدایت حرارتی عالی است. این به قایق‌های ما اجازه می‌دهد تا در برابر افزایش سریع دما بدون خطر خرابی ساختاری مقاومت کنند، که مستقیماً منجر به خرابی تجهیزات کمتر می‌شود.

2. ظرفیت تحمل بار بالا در دما

با افزایش اندازه ویفر و بزرگتر شدن دسته ها برای به حداکثر رساندن توان، وزن حامل افزایش می یابد. قایق های SiSiC ما مقاومت خزشی فوق العاده ای از خود نشان می دهند. در حالی که سایر مواد ممکن است تحت بارهای سنگین در دمای 1250 درجه سانتیگراد خم شوند یا تاب بخورند، SiSiC هندسه خود را حفظ می کند و تضمین می کند که موازی شکاف ویفر در هزاران چرخه کامل باقی می ماند.

3. بی اثری شیمیایی و یکپارچگی سطح

قایق های SiSiC ما برای محیط های شیمیایی خشن طراحی شده اند. این ماده ذاتاً در برابر گازهای خورنده مورد استفاده در فرآیندهای LPCVD و Diffusion مقاوم است. علاوه بر این، سطح مورد استفاده قرار می گیرد تا اطمینان حاصل شود که مهاجرت "سیلیکون رایگان" وجود ندارد و یک محیط پایدار و تمیز فراهم می کند که از یکپارچگی الکتریکی ویفرهای شما محافظت می کند.

مشخصات فنی: ماتریس عملکرد SiSiC

اموال	SiSiC (باند واکنش)	کوارتز سنتی	سود صنعتی
حداکثر دمای استفاده	1350-1380 درجه سانتی گراد	~1100 درجه سانتیگراد	انعطاف پذیری فرآیند بالاتر
هدایت حرارتی	> 150 W/m·K	1.4 W/m·K	گرمایش سریع و یکنواخت
مدول الاستیک	~ 330 گیگا پاسکال	70 گیگا پاسکال	بدون افتادگی زیر بارهای سنگین
تخلخل	< 0.1٪	0%	حداقل جذب گاز
تراکم	3.02 - 3.10 g/cm³	2.20 گرم بر سانتی متر مکعب	پایداری ساختاری بالا

بهینه شده برای استانداردهای تولید جهانی

قایق ویفر SiSiC ما با OEMهای کوره پیشرو در جهان از جمله TEL (توکیو الکترون)، ASM و Kokusai Electric سازگار است. ما راه حل های سفارشی برای:

کوره های پخش افقی: قایق های بلند با شکاف های با دقت بالا برای ویفرهای 150 میلی متری و 200 میلی متری.

سیستم های کوره عمودی: طرح هایی با جرم کم که جریان گاز و یکنواختی حرارتی را بهینه می کند.

تولید سلول‌های PV خورشیدی: حامل‌های تخصصی SiSiC که برای انتشار POCl3 با حجم بالا طراحی شده‌اند و عمر مفیدی ۵ تا ۱۰ برابر بیشتر از کوارتز دارند.

بینش متخصص: برای فرآیندهای بیش از 1380 درجه سانتیگراد، ما خط Sitered SiC خود را توصیه می کنیم. با این حال، برای اکثریت قریب به اتفاق مراحل انتشار، اکسیداسیون و LPCVD، SiSiC مقرون به صرفه ترین نسبت عملکرد به طول عمر در صنعت را ارائه می دهد.

چرا با ما شریک شوید؟

تخصص مواد: ما فقط پودر آلفا-SiC با خلوص بالا و سیلیکون درجه الکترونیکی را برای فرآیند پیوند واکنش خود تهیه می کنیم.

مهندسی دقیق: قابلیت‌های سنگ‌زنی CNC ما، تحمل شکاف‌ها را در ۰.۰۲ ± میلی‌متر امکان‌پذیر می‌کند و لرزش ویفر و شکستگی را کاهش می‌دهد.

پایداری و بازگشت سرمایه: با تغییر از کوارتز به SiSiC، کارخانه‌ها معمولاً به دلیل کاهش قابل توجه فرکانس جایگزینی، 40 درصد کاهش هزینه‌های مصرفی سالانه را مشاهده می‌کنند.

هر قایق ما با یک گواهی انطباق (CoC) و یک گزارش بازرسی تمام ابعاد همراه است، که اطمینان حاصل می کند که کیت فرآیند شما برای نصب فوری در اتاق تمیز آماده است.

تگ های داغ: SiSiC Wafer Boat، چین، تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، سفارشی، فله، پیشرفته، بادوام

برچسب محصول

دسته بندی مرتبط