چاک های خلاء

چاک های خلاء Semicorex راه حل های مهندسی دقیق هستند که به منظور فراهم آوردن کنترل ایمن ، پایدار و کارآمد ویفرها در فرآیندهای تولید نیمه هادی طراحی شده اند. این تکه های خلاء عمدتاً برای نگه داشتن ویفرها در مراحل مختلف پردازش ، اطمینان از حداقل آسیب به ویفرها ، حداکثر پایداری و افزایش کارایی فرآیند استفاده می شود. چاک های خلاء ما در انواع مواد پایه و صفحات سرامیکی موجود است و راه حل های متناسب برای تأمین نیازهای متنوع صنعت نیمه هادی و سایر صنایع دقیق ارائه می دهد.

ویژگی ها و مواد اصلی

Semicorex طیف وسیعی از گزینه های مواد پایه را برای خلاء چاک ارائه می دهد ، و این امکان را می دهد که بر اساس الزامات خاص برنامه ، سفارشی سازی را انجام دهد:

مواد پایه:

• SUS430: یک ماده پایه استیل ضد زنگ که به دلیل مقاومت و مقاومت در برابر خوردگی شناخته می شود ، ثبات مکانیکی عالی را فراهم می کند.
• آلیاژ آلومینیوم 6061: سبک وزن و در عین حال قوی ، این پایه آلومینیومی مقاومت در برابر خوردگی بالایی را ارائه می دهد و برای کاربردهایی که در آن وزن نگران کننده است ، ایده آل است.
• سرامیک آلومینا (99 ٪ آلومینا): ثبات حرارتی بالایی و مقاومت در برابر سایش را ارائه می دهد. این یک انتخاب عالی برای محیط های با دقت بالا است که مقاومت حرارتی بسیار مهم است.
• گرانیت: به دلیل استحکام و خاصیت ارتعاش برتر آن شناخته شده است ، گرانیت در هنگام کار با ویفر ، ثبات و دقت بسیار خوبی را ارائه می دهد.
• سرامیک کاربید سیلیکون (SIC): سختی ، هدایت حرارتی و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی را ارائه می دهد. این برای محیط های با درجه حرارت بالا و پرخاشگر مناسب است.

بشقاب های سرامیکی:

آلومینا (Al₂o₃): صفحات آلومینا به دلیل خاصیت عایق الکتریکی بالا ، مقاومت در برابر سایش و پایداری درجه حرارت بالا شناخته شده اند. آنها برای محیط هایی مناسب هستند که حداقل آلودگی و عملکرد بالا بسیار مهم باشد.

کاربید سیلیکون (SIC): صفحات سرامیکی SIC سختی استثنایی ، هدایت حرارتی بالا و پایداری در دماهای بالا را فراهم می کند و آنها را برای فرآیندهای پیشرفته دست زدن به ویفر در تولید نیمه هادی ایده آل می کند.

دقت صاف و انتخاب مواد

صاف بودن سطح چاک یک عامل مهم در اطمینان از عملکرد مناسب ویفر و نتایج بهینه فرآیند است. انتخاب مواد بر دقت صافی و همچنین وزن کلی و خواص حرارتی خلاء چاک تأثیر می گذارد.

دقت صافی:

آلیاژ آلومینیوم 6061: صافی عالی را با دقت فراهم می کند ، و آن را به عنوان یک انتخاب محبوب برای کارهای حمل و نقل ویفر کمتر خواستار می کند.

SUS430: در حالی که پایداری مکانیکی جامد را ارائه می دهد ، SUS430 دارای دقت صافی کمی پایین تر از آلیاژ آلومینیوم است.

سرامیک آلومینا (آلومینا 99 ٪): به دلیل ثبات ابعادی بالا در دمای بالا و استرس مکانیکی ، بهترین دقت صافی را ارائه می دهد.

گرانیت: به دلیل پایداری آن شناخته شده است ، گرانیت صافی دقیق ، به ویژه در محیط های حساس به لرزش را فراهم می کند.

سرامیک کاربید سیلیکون: دقت صافی برجسته را ارائه می دهد و برای کار با ویفر با دقت بالا در کاربردهای درجه حرارت بالا ایده آل است.

ملاحظات وزن

وزن خلاء چاک یکی دیگر از عوامل مهم دیگر است ، به ویژه برای برنامه هایی که سهولت چاک در کار و دستکاری یک مورد مهم است.