قایق ویفر برای فرآیند نیمه هادی

خصوصیات فنی

فهرست مطالب

واحد

ارزش

نام ماده

سیلیکون کاربید متخلخل واکنش

کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار

سیلیکون کاربید تبلور مجدد

ترکیب بندی

RBSiC

SSiC

R-SiC

چگالی حجیم

g/cm3

3

0.03 ± 3.15

2.60-2.70

استحکام خمشی

MPa (kpsi)

338 (49)

380 (55)

80-90 (20 درجه سانتی گراد) 90-100 (1400 درجه سانتی گراد)

مقاومت فشاری

MPa (kpsi)

1120 (158)

3970(560)

> 600

سختی

Knoop

2700

2800

/

شکستن سرسختی

MPa m1/2

4.5

4

/

رسانایی گرمایی

W/m.k

95

120

23

ضریب انبساط حرارتی

10^-60.1/°C

5

4

4.7

گرمای ویژه

ژول/گرم 0k

0.8

0.67

/

حداکثر دما در هوا

℃

1200

1500

1600

مدول الاستیک

GPA

360

410

240