قایق ویفر برای فرآیند نیمه هادی

خصوصیات فنی

شاخص

واحد

ارزش

نام مواد

سیلیکون کاربید متخلخل واکنش

کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار

سیلیکون کاربید تبلور مجدد

ترکیب

RBSiC

SSiC

R-SiC

چگالی حجیم

g/cm3

3

0.03 ± 3.15

2.60-2.70

قدرت خمشی

MPa (kpsi)

338 (49)

380 (55)

80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد)

مقاومت فشاری

MPa (kpsi)

1120 (158)

3970(560)

> 600

سختی

دکمه

2700

2800

/

شکستن سرسختی

MPa m1/2

4.5

4

/

هدایت حرارتی

W/m.k

95

120

23

ضریب انبساط حرارتی

10^-60.1/°C

5

4

4.7

گرمای ویژه

ژول/گرم 0k

0.8

0.67

/

حداکثر دما در هوا

℃

1200

1500

1600

مدول الاستیک

GPA

360

410

240