قایق ویفر

Semicorex Wafer Boat برای تحمل شرایط سخت کوره انتشار مانند دماهای بالا، محیط های خورنده و نیاز به قرار دادن دقیق ویفر در طول فرآیند انتشار طراحی شده است.

قایق ویفر از سرامیک سیلیکون کاربید ساخته شده است که به دلیل خواص استثنایی آن انتخاب شده است. سیلیکون کاربید به دلیل رسانایی حرارتی بالا شناخته شده است که توزیع یکنواخت دما را در طول ویفرها در طول انتشار تضمین می کند. این یکنواختی برای حفظ یکپارچگی ویفرها و اطمینان از سطوح دوپینگ ثابت، که برای عملکرد دستگاه های نیمه هادی در حال تولید ضروری است، بسیار مهم است. علاوه بر این، نقطه ذوب بالای سیلیکون کاربید و پایداری حرارتی به قایق ویفر اجازه می دهد تا در دمای بالا مورد نیاز در فرآیندهای انتشار، اغلب بیش از 1000 درجه سانتیگراد، بدون تخریب یا اعوجاج کار کند.

یکی از مزایای کلیدی سرامیک سیلیکون کاربید در قایق ویفر مقاومت شیمیایی عالی آن است. این مقاومت به ویژه در حفظ خلوص ویفرهای نیمه هادی مهم است، زیرا هر گونه آلودگی می تواند منجر به نقص در محصول نهایی شود و عملکرد مدارهای مجتمع را به خطر بیندازد.

یکپارچگی ساختاری قایق ویفر یکی دیگر از عوامل مهم در طراحی آن است. طراحی باید اطمینان حاصل کند که ویفرها به طور ایمن در جای خود قرار می گیرند، با فاصله دقیق برای قرار گرفتن یکنواخت در معرض گازهای واکنشی. این دقت برای دستیابی به دوپینگ یکنواخت در تمام ویفرها، که مستقیماً بر ویژگی های الکتریکی دستگاه های نیمه هادی تأثیر می گذارد، حیاتی است.

علاوه بر خواص حرارتی و شیمیایی، سرامیک سیلیکون کاربید، پایداری ابعادی عالی را ارائه می دهد که برای الزامات با دقت بالا در ساخت نیمه هادی ها ضروری است. این پایداری تضمین می کند که ویفرها کاملاً در یک راستا باقی می مانند و امکان انتشار دقیق و یکنواخت مواد ناخالص را در کل سطح هر ویفر فراهم می کند و منجر به تولید دستگاه های نیمه هادی با کیفیت بالا می شود.

قایق ویفر Semicorex ساخته شده از سرامیک کاربید سیلیکون یک جزء ضروری در فرآیند انتشار نیمه هادی است. هدایت حرارتی استثنایی، مقاومت شیمیایی، استحکام مکانیکی و پایداری ابعادی، آن را برای شرایط سخت تولید نیمه هادی ها مناسب می کند. استفاده از آن نه تنها کارایی و قابلیت اطمینان فرآیند انتشار را افزایش می دهد، بلکه به مقرون به صرفه بودن کلی تولید نیمه هادی کمک می کند.