قایق های ویفر

قایق های ویفر نیمه نیمه ساخته شده از کاربید سیلیکون با خلوص بالا (SIC) اجزای اساسی در ساخت نیمه هادی ها هستند. فرآیندهای نیمه هادی که در آن به طور معمول مورد استفاده قرار می گیرند شامل محیط های درجه حرارت بالا و خورنده مانند انتشار ، اکسیداسیون و فرآیندهای LPCVD است. استفاده از قایق های ویفر SIC برای به حداکثر رساندن پایداری حرارتی و مقاومت شیمیایی ساخته شده است و امکان پشتیبانی بهینه ، تراز و حمل ویفرهای سیلیکون را در حین پردازش برای عملکرد بهینه و عملکرد دستگاه فراهم می کند.

کاربید سیلیکون به خوبی به عنوان یک سرامیک حرارتی عالی از نظر حرارتی ثبت شده است ، از استحکام مکانیکی بالایی و مقاومت در برابر شوک حرارتی برتر ، مقاومت به اکسیداسیون و مقاومت شیمیایی تهاجمی با مواد شیمیایی مانند HF و HCl استفاده می کند. خواص SIC آن را به ویژه به عنوان ماده ای برای قایق های ویفر برای فرآیندهای ساخت نیمه هادی نسل بعدی و در محیط های درجه حرارت بالا جذاب می کند. قایق های ویفر SIC می توانند یکپارچگی ساختاری و پایداری بعدی را در دمای فرآیند> 1500 درجه سانتیگراد حفظ کنند و خطر پیچیدگی یا آلودگی ویفرها را در درمان های حرارتی بحرانی به حداقل برساند.

هر sicقایق ویفراز SIC با خلوص بالا با استفاده از فرآیندهای پیشرفته شکل گیری سرامیکی و پخت و پز تولید می شود و می تواند برای طیف گسترده ای از قطر ویفر (100 میلی متر ، 150 میلی متر ، 200 میلی متر ، 300 میلی متر) و همچنین تنظیمات انباشته عمودی یا افقی تنظیم شود. قایق های ویفر SIC ما دارای سطوح صاف و صافی عالی هستند که تولید ذرات را به حداقل می رساند و برای سیستم های کنترل خودکار ویفر ایده آل است.

کنترل و عملکرد آلودگی دو مهمترین موضوعات در فاب های مدرن است. پاکیزگی و قابلیت اطمینان حامل ویفر SIC بر کیفیت محصول و عملکرد فرآیند قوام تأثیر می گذارد.  قایق های ویفر SIC طول عمر بسیار بهتری برای استفاده دارند ، نیازهای نگهداری کمتری دارند و TCO پایین تر از گزینه های مبتنی بر کوارتز یا آلومینا هستند. طول عمر بهتر همچنین به معنای مشکلات کمتری در ریزش میکرو ذرات است ، بنابراین دوباره بر پاکیزگی سطح ویفر تأثیر می گذارد و بر پاکیزگی اتاق تمیز تأثیر می گذارد.

Semicorex در طراحی و ساخت قایق های ویفر SIC که از بالاترین مواد اولیه خلوص ممکن همراه با پخت و پز آلودگی کم استفاده می کنند ، متمرکز شده است.  ما تمام تلاش خود را برای حفظ سطح ناخالصی پایین ، حفظ تخلخل در ارزش کم و ریزساختار یکنواخت انجام می دهیم تا کار تیم بتواند به طور مرتب از ویژگی های حرارتی مداوم ، فاصله ویفر دقیق و مقاومت در برابر تخریب شیمیایی بی نظیر برخوردار باشد.

نیمه نیمهقایق های ویفریک عنصر ضروری پردازش دمای بالا از نیمه هادی ها هستند. قایق های ویفر کاربید سیلیکون با خلوص بالا دارای ویژگی های بی نظیر مواد ، تعالی مهندسی شده و خلق و خوی بدون آلودگی هستند ، آنها را به انتخاب سطح بالا برای ساخت ویفر با کارایی بالا تبدیل می کند. Semicorex قابلیت اطمینان و عملکرد بالا و نوآورانه را برای پشتیبانی از رسالت ترین فرآیندهای نیمه هادی شما فراهم می کند.