نیمه هادی حامل ویفر

Semicorex برای ابزارهای نیمه‌ساخت OEM و اجزای کنترل ویفر با تمرکز بر لایه‌های کاربید سیلیکون در صنایع نیمه‌رسانا، سرامیک‌های نیمه‌رسانا ارائه می‌کند. ما سال هاست که تولید کننده و تامین کننده نیمه هادی حامل ویفر بوده ایم. نیمه هادی حامل ویفر ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

فرآیندهای رسوب دهی نیمه هادی از ترکیبی از گازهای پیش ساز فرار، پلاسما و دمای بالا برای لایه گذاری لایه های نازک با کیفیت بالا روی ویفرها استفاده می کنند. محفظه های رسوب دهی و ابزارهای جابجایی ویفر به اجزای سرامیکی بادوام نیاز دارند تا در برابر این محیط های چالش برانگیز مقاومت کنند. Semicorex Wafer Carrier Semicorex یک کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد نیمه هادی حامل ویفر ما همین امروز با ما تماس بگیرید.

پارامترهای نیمه هادی حامل ویفر

خصوصیات فنی
فهرست مطالب	واحد	ارزش
نام ماده		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب بندی		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
استحکام خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتی گراد) 90-100 (1400 درجه سانتی گراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	Knoop	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
رسانایی گرمایی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های نیمه هادی حامل ویفر

- انحراف طول موج کمتر و بازده تراشه بالاتر
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- تلرانس ابعادی بیشتر منجر به بازده محصول بالاتر و هزینه کمتر می شود
- گرافیت با خلوص بالا و پوشش SiC برای مقاومت در برابر سوراخ سوزنی و طول عمر بالاتر

اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون ¼

میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی

â لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی

â حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی

دیسک سرامیکی

â صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی

توپ سرامیکی

پیستون سرامیکی

نازل سرامیکی

بوته سرامیکی

â سایر قطعات سرامیکی سفارشی