نیمه هادی حامل ویفر

Semicorex برای ابزارهای نیمه‌ساخت OEM و اجزای کنترل ویفر با تمرکز بر لایه‌های کاربید سیلیکون در صنایع نیمه‌رسانا، سرامیک‌های نیمه‌رسانا ارائه می‌کند. ما سال هاست که تولید کننده و تامین کننده نیمه هادی ویفر حامل بوده ایم. نیمه هادی حامل ویفر ما مزیت قیمت خوبی دارد و بیشتر بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهد. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

فرآیندهای رسوب دهی نیمه هادی از ترکیبی از گازهای پیش ساز فرار، پلاسما و دمای بالا برای لایه گذاری لایه های نازک با کیفیت بالا روی ویفرها استفاده می کنند. محفظه‌های رسوب‌گذاری و ابزارهای جابجایی ویفر برای مقابله با این محیط‌های چالش‌برانگیز به اجزای سرامیکی بادوام نیاز دارند. نیمه هادی ویفر حامل Semicorex یک کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که دارای خواص مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و همچنین هدایت حرارتی عالی است.
امروز با ما تماس بگیرید تا درباره نیمه هادی حامل ویفر ما بیشتر بدانید.

پارامترهای نیمه هادی حامل ویفر

خصوصیات فنی
شاخص	واحد	ارزش
نام مواد		سیلیکون کاربید متخلخل واکنش	کاربید سیلیکون متخلخل بدون فشار	سیلیکون کاربید تبلور مجدد
ترکیب		RBSiC	SSiC	R-SiC
چگالی حجیم	g/cm3	3	0.03 ± 3.15	2.60-2.70
قدرت خمشی	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 درجه سانتیگراد) 90-100 (1400 درجه سانتیگراد)
مقاومت فشاری	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970(560)	> 600
سختی	دکمه	2700	2800	/
شکستن سرسختی	MPa m1/2	4.5	4	/
هدایت حرارتی	W/m.k	95	120	23
ضریب انبساط حرارتی	10^-60.1/°C	5	4	4.7
گرمای ویژه	ژول/گرم 0k	0.8	0.67	/
حداکثر دما در هوا	℃	1200	1500	1600
مدول الاستیک	GPA	360	410	240

تفاوت بین SSiC و RBSiC:

1. فرآیند پخت متفاوت است. RBSiC برای نفوذ Si آزاد به کاربید سیلیکون در دمای پایین است، SSiC با انقباض طبیعی در 2100 درجه تشکیل می شود.

2. SSiC دارای سطح صاف تر، چگالی بیشتر و استحکام بالاتر است، برای برخی از آب بندی ها با الزامات سطح سخت تر، SSiC بهتر خواهد بود.

3. زمان استفاده متفاوت تحت PH و دماهای مختلف، SSiC طولانی تر از RBSiC است

ویژگی های نیمه هادی حامل ویفر

- انحراف طول موج کمتر و بازده تراشه بالاتر
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- تلرانس ابعادی بیشتر منجر به بازده محصول بالاتر و هزینه کمتر می شود
- گرافیت با خلوص بالا و پوشش SiC برای مقاومت سوراخ سوزنی و طول عمر بالاتر

اشکال موجود سرامیک کاربید سیلیکون:

● میله سرامیکی / پین سرامیکی / پیستون سرامیکی

● لوله سرامیکی / بوش سرامیکی / آستین سرامیکی

● حلقه سرامیکی / واشر سرامیکی / اسپیسر سرامیکی

● دیسک سرامیکی

● صفحه سرامیکی / بلوک سرامیکی

● توپ سرامیکی

● پیستون سرامیکی

● نازل سرامیکی

● بوته سرامیکی

● سایر قطعات سرامیکی سفارشی