Semicorex یک نام قابل اعتماد در صنعت نیمه هادی است که MOCVD Planet Susceptor را برای نیمه هادی ها با کیفیت بالا ارائه می دهد. محصول ما برای پاسخگویی به نیازهای خاص تولیدکنندگان نیمه هادی طراحی شده است که به دنبال حاملی هستند که بتواند عملکرد، پایداری و دوام عالی ارائه دهد. امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد محصول ما بیشتر بدانید و چگونه می توانیم به شما در رفع نیازهای تولید نیمه هادی کمک کنیم.
MOCVD Planet Susceptor برای نیمه هادی ما دارای مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا است و پایداری آن را در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد تضمین می کند. همچنین بسیار خالص است که توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا ساخته می شود و از یکنواختی و سازگاری محصول، حتی مشخصات حرارتی و الگوی جریان گاز آرام اطمینان حاصل می کند.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد MOCVD Planet Susceptor for Semiconductor بیشتر بدانید.
پارامترهای MOCVD Planet Susceptor برای نیمه هادی
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز FCC β |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
¼ دقیقه |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت گرمایی |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (خم 4pt، 1300) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
رسانایی گرمایی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD
- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید