حامل ویفر نیمه هادی برای تجهیزات MOCVD

می توانید مطمئن باشید که حامل ویفر نیمه هادی برای تجهیزات MOCVD را از کارخانه ما خریداری کنید. حامل های ویفر نیمه هادی جزء ضروری تجهیزات MOCVD هستند. آنها برای انتقال و محافظت از ویفرهای نیمه هادی در طول فرآیند تولید استفاده می شوند. حامل های ویفر نیمه هادی برای تجهیزات MOCVD از مواد با خلوص بالا ساخته شده اند و برای حفظ یکپارچگی ویفرها در طول پردازش طراحی شده اند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

حامل ویفر نیمه هادی ما برای تجهیزات MOCVD جزء ضروری فرآیند تولید نیمه هادی است. این از گرافیت با خلوص بالا با پوشش کاربید سیلیکون به روش CVD ساخته شده و برای قرار دادن چندین ویفر طراحی شده است. حامل چندین مزیت از جمله بهبود عملکرد، افزایش بهره وری، کاهش آلودگی، افزایش ایمنی و مقرون به صرفه بودن را ارائه می دهد. اگر به دنبال یک حامل ویفر نیمه هادی قابل اعتماد و با کیفیت برای تجهیزات MOCVD هستید، محصول ما راه حل مناسبی است.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد حامل ویفر نیمه هادی برای تجهیزات MOCVD امروز با ما تماس بگیرید.

پارامترهای حامل ویفر نیمه هادی برای تجهیزات MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید