سیلیکون کاربید گرافیت بستر MOCVD Susceptor

Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor انتخاب نهایی برای تولیدکنندگان نیمه هادی است که به دنبال حاملی با کیفیت بالا هستند که می تواند عملکرد و دوام برتر را ارائه دهد. مواد پیشرفته آن پروفیل حرارتی و الگوی جریان گاز آرام را تضمین می کند و ویفرهای با کیفیت بالا را ارائه می دهد.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

زیرلایه کاربید سیلیکون گرافیت MOCVD Susceptor ما بسیار خالص است و توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی در دمای بالا ساخته شده است و یکنواختی و قوام محصول را تضمین می کند. همچنین بسیار مقاوم در برابر خوردگی است، با سطح متراکم و ذرات ریز که آن را در برابر اسید، قلیایی، نمک و معرف‌های آلی مقاوم می‌کند. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، پایداری در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد را تضمین می کند.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد سیلیکون کاربید گرافیت بستر MOCVD Susceptor ما بیشتر بدانید.

پارامترهای سیلیکون کاربید گرافیت بستر MOCVD Susceptor

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید